GT45A

GT65A의 최첨단 기술을 적용, 높은 기능 확장성으로 더욱 향상된 생산성(웨이퍼 아웃풋)을 실현


 

GT45A는 최첨단 ArF 액침용 광원인 GT65A 플랫폼을 기반으로 한 높은 기능 확장성을 갖춘 모델입니다.
최신형 모듈 탑재에 의한 ‘고가동률’, 현행 모델 GT40A에서 계승한 ‘헬륨 프리’로 생산성 향상과 환경 부하 경감을 동시에 실현합니다.
또한 스펙트럼 폭 안정성의 향상, 가변 기술, 최대 90W의 고출력화를 가능하게 하여 고객님의 다양한 요구에 부응합니다.


특징

1. 모듈 수명 연장
GT65A에서 도입 실적이 있는 모듈 수명 연장 기술을 기본 탑재. 유지 보수 빈도를 줄여 생산성 향상에 공헌합니다.

2. 높은 기능 확장성
GT65A에서 사용 가능한 기능ㆍ기술을 탑재할 수 있습니다.


주 사양*
발진 파장 193 nm
평균 출력 45 - 90 W
펄스 에너지 11.25 - 15 mJ
발진 주파수 4,000 - 6,000 Hz
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) ≤0.5 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다