GT60A

45nm 이후의 기술 노드에 대응하는 신제품, 6kHz ArF 엑시머 레이저

GT60A

기가포톤은 GT40A의 양산 출하로부터 채 1년이 경과하지 않은 시점에, 출력의 대폭적인 향상과 발진 주파수가 1.5배의 6,000Hz인 GT60A 개발에 성공했습니다. GT60A는 GT40A와 마찬가지로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 2세대째에 해당합니다. GT40A는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다. GT60A는 GT40A와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.


특징

1. 고출력ㆍ고발진 주파수
발진 주파수 4,000Hz를 실현한 GT40A에 개량을 더해 대폭적인 효율 향상으로 같은 플랫폼상에 6,000Hz의 발진 주파수를 실현했습니다. 이에 따라 펄스당 에너지를 억제하면서도 출력을 33% 이상 향상시켜 60W로 만들었습니다. 대폭적인 출력과 주파수의 개선에도 불구하고 노광장치의 해상도를 지원하는 스펙트럼 성능은 GT40A와 같은 수준을 확보하고 있습니다.

2. 신뢰성ㆍ안정성
실적이 있는 GT40A 플랫폼상에 설계되고 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있으므로 안심하고 도입할 수 있습니다.
또한 GT40A에서 신규로 도입된 고도 자기 진단 기능과 더불어, 장치의 가용성을 높이기 위한 파라미터 최적화 기능이 추가되어 있습니다. GT 시리즈의 큰 장점인 모듈 교환성을 포함한 서비스성도 확보되어 있으므로, 반도체 공장에서 필수로 생각하는 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다.

주 사양*
발진 파장 193 nm
평균 출력 60 W
펄스 에너지 10.0 mj
발진 주파수 6,000 Hz
스펙트럼 선폭 (FWHM) 0.2 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.5 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다