ArF Immersion

ArF Dry

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<h2 class="wp-block-heading">45nm 이후의 기술 노드에 대응하는 신제품, 6kHz ArF 엑시머 레이저</h2>



<p>기가포톤은 GT40A의 양산 출하로부터 채 1년이 경과하지 않은 시점에, 출력의 대폭적인 향상과 발진 주파수가 1.5배의 6,000Hz인 GT60A 개발에 성공했습니다. GT60A는 GT40A와 마찬가지로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 2세대째에 해당합니다. GT40A는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다. GT60A는 GT40A와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>특징</strong></h3>



<h4 class="wp-block-heading"><strong><strong><strong><strong><strong>고출력ㆍ고발진 주파수</strong></strong></strong></strong></strong></h4>



<p>발진 주파수 4,000Hz를 실현한 GT40A에 개량을 더해 대폭적인 효율 향상으로 같은 플랫폼상에 6,000Hz의 발진 주파수를 실현했습니다. 이에 따라 펄스당 에너지를 억제하면서도 출력을 33% 이상 향상시켜 60W로 만들었습니다. 대폭적인 출력과 주파수의 개선에도 불구하고 노광장치의 해상도를 지원하는 스펙트럼 성능은 GT40A와 같은 수준을 확보하고 있습니다. 이를 통해 노광 프로세스의 안정도에 공헌할 것으로 예상됩니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading"><strong><strong><strong><strong><strong>신뢰성ㆍ안정성</strong></strong></strong></strong></strong></h4>



<p>실적이 있는 GT40A 플랫폼상에 설계되고 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있으므로 안심하고 도입할 수 있습니다.<br>또한 GT40A에서 신규로 도입된 고도 자기 진단 기능과 더불어, 장치의 가용성을 높이기 위한 파라미터 최적화 기능이 추가되어 있습니다. GT 시리즈의 큰 장점인 모듈 교환성을 포함한 서비스성도 확보되어 있으므로, 반도체 공장에서 필수로 생각하는 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다.</p>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값*</th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>60 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 선폭 (FWHM)</td><td>0.2 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>



<p></p>


GT60A

<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full is-resized"><img loading="lazy" decoding="async" width="800" height="800" src="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/GT80A_v1_800.png" alt="GT80A" class="wp-image-8942" style="object-fit:cover;width:500px;height:500px" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/GT80A_v1_800.png 800w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/GT80A_v1_800-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/GT80A_v1_800-150x150.png 150w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/GT80A_v1_800-768x768.png 768w" sizes="(max-width: 800px) 100vw, 800px" /></figure></div>


<h2 class="wp-block-heading" id="block-a3b3e089-1a54-4761-a372-db81e9afbac5">진화적인 몰입형 리소그라피 라이트소스가 리소그라피 성능을 높입니다</h2>



<p id="block-5abacaca-6ec7-4d58-8102-ace1432a08f4">최첨단 기기 제조에서는 스케일링과 함께 고생산성이 필요합니다. 최첨단 기기는 특히 웨이퍼로 전달되는 리소그라피 패턴의 요구사항과 EPE (Edge Placement Error) 및 고생산성을 충족해야 합니다. 라이트소스로, EPE에 직접적으로 영향을 주는 CD LER/LWR (Critical Dimension Line Edge Roughness/Line Width Roughness)을 감소시킴으로써, GT80A는 대량 생산 현장에서 향상된 수율을 제공합니다.<br><br>신개발된 모듈로 인해 새로운 몰입형 리소그라피 라이트소스 &#8220;GT80A&#8221;는 반복 속도를 성공적으로 12.5% 향상시켰습니다. 이로 인해 GT65와 비교하여 스펙클 대비 36%의 감소가 이루어지며, LWR/CDU (Critical Dimension Uniformity)도 더욱 감소되었습니다. 이러한 진보는 프로세스 수율을 더욱 개선하고, 최첨단 노드의 생산에서 고생산성을 지원합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator has-alpha-channel-opacity" id="block-328b64d7-8c7a-4822-8bb9-45d80cf2ff64"/>



<h2 class="wp-block-heading" id="block-69a6e25e-6dd0-47df-8abd-4d3d864abbcc">주요 특징</h2>



<h3 class="wp-block-heading" id="block-e26a6661-ef4b-4459-924f-592697c1950d">최첨단 노드와 함께 개선된 수율</h3>



<p id="block-8e9a84b8-2646-4720-bfc2-e04a31d346a3">GT80A는 반복 속도를 향상시키고 새로운 광학 모듈을 적용함으로써 스펙클 대비를 36% 감소시키고 LER/LWR을 개선했습니다. 이러한 진보는 리소그라피에서 최첨단 노드의 생산에서 개선된 수율을 가능하게 합니다.</p>



<h3 class="wp-block-heading" id="block-b787aee1-07c7-49a1-bf5f-9c16ccbbe640">높은 가용성</h3>



<p id="block-47ea68db-de8d-4900-bea7-5190acbeaba5">신개발된 모듈을 통합함으로써 GT80A는 반복 속도를 향상시켰습니다. 이는 최첨단 노드의 생산에서 더 높은 수율에 기여합니다.</p>



<h3 class="wp-block-heading" id="block-0faa248e-e176-4a1a-90f6-d43c91d7d4b6">지속 가능한 솔루션 제공</h3>



<p id="block-c2b0b657-1ff6-4694-9f6e-43417ed8b370">표준으로 헬륨 무료 기술을 탑재한 GT80A는 희귀 가스 공급 부족의 위험을 완화하고, 유틸리티의 에너지 소비를 줄이기 위한 기술을 사용하는 환경 친화적인 라이트소스입니다.</p>



<h2 class="wp-block-heading" id="block-b4a01926-1d58-45d0-be52-4a3224e56201">일반 사양</h2>



<figure class="wp-block-table"><table><thead><tr><th>항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>출력</td><td>60 &#8211; 90 W</td></tr><tr><td>반복 속도</td><td>6,750 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭<br>(95% 적분 에너지 &#8211; E95)</td><td>300 +/- 1.5 fm wafer average</td></tr><tr><td>특징</td><td>EPE 감소 솔루션<br>반복 속도 개선<br>지속 가능한 솔루션</td></tr></tbody></table></figure>



<p>(*) 사양은 대표값입니다.</p>



<p>﻿</p>


GT80A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT66A_500.png" alt="GT66A" class="wp-image-7586" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT66A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT66A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT66A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="새로운-테크놀로지의-요구에-부응하는-액침-노광-광원">새로운 테크놀로지의 요구에 부응하는 액침 노광 광원</h2>



<p>최첨단 장치 제조는 현재 무어의 법칙이 계속되고 있으며, 테크놀로지 노드의 미세화가 진행되고 있습니다. 이러한 최첨단 장치에서는 웨이퍼에 전사되는 노광 패턴 특히 EPE(Edge Placement Error) 에 대한 대응이 요구됩니다. 광원으로서 EPE에 직접적 영향을 미치는 CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness) 저감을 실현하여 양산 현장에서의 일드 향상을 제공합니다.<br><br>신형 액침 노광용 광원 ‘GT66A’는 신개발 광학 모듈을 통해 스펙클 콘트라스트를 30% 저감하여 LER/LWR 저감에 성공했습니다. 또한 최신 고내구성 부품을 도입하여 모듈의 유지 보수 주기를 30% 연장했습니다.이를 통해 프로세스 일드의 추가적인 개선과 광원의 가용성 향상을 실현하고 최첨단 노드 양산에서의 높은 생산성을 서포트합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">주요 특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="최첨단-노드에서의-생산성-개선">최첨단 노드에서의 생산성 개선</h4>



<p>신개발 광학 모듈을 통해 스펙클 콘트라스트를 30% 저감에 의한 LER/LWR의 개선을 실현했습니다. 이를 통해 리소그래피 최첨단 노드 양산에서의 더욱 향상된 생산성 개선을 제공합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="고수준의-가용성">고수준의 가용성</h4>



<p>최신 고내구성 부품을 도입하여 모듈의 유지 보수 주기를 30% 연장했습니다. 이를 통해 고수준의 가용성을 실현하여 생산성 향상에 공헌합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="서스테이너빌리티-솔루션의-제공">서스테이너빌리티 솔루션의 제공</h4>



<p>륨 프리 기술의 표준 장비로 희귀 가스의 공급 부족 리스크에 대비할 뿐만 아니라 유틸리티의 소비량 절감 기술을 통해 환경에도 배려한 광원입니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-사양">주요 사양</h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>출력</td><td>60 &#8211; 90 W</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭(95% 에너지 적산-E95)</td><td>300 +/- 1.5 fm wafer average</td></tr><tr><td>특징</td><td>EPE 저감 솔루션<br>Continuous Reliability Improvement (CRI) Package<br>서스테이너빌리티 솔루션</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


GT66A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT65A_500.png" alt="GT65A" class="wp-image-7594" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT65A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT65A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT65A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="서브-10nm-노드용-액침-노광기-대응-생산성-향상에-공헌하는-arf-엑시머-레이저">서브 10nm 노드용 액침 노광기 대응, 생산성 향상에 공헌하는 ArF 엑시머 레이저</h2>



<p>인젝션 락 방식을 채택한 플랫폼의 7세대에 해당하는 GT65A는 최첨단 기술을 도입하여 스펙트럼 폭(E95) 가변 및 안정성 향상에 의한 ‘노광 성능 개선’, 모듈 수명 연장에 의한 ‘고가동률’, 헬륨 프리에 의한 ‘환경 부하 경감’을 통해 더욱더 고객의 생산성(웨이퍼 아웃풋) 향상을 실현하고 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="특징">특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="스펙트럼-폭-e95-가변">스펙트럼 폭(E95) 가변</h4>



<p>고객의 다양한 조건ㆍ용도에 맞게 스펙트럼 폭을 변경할 수 있습니다. 사용례로서 다른 세대 노광기의 콘트라스트 성능 차를 스펙트럼 폭으로 보정할 수 있습니다. 또한 스펙트럼 폭 가변 기능으로 OPC 특성의 장치 간 또는 마스크 간의 매칭도 가능합니다<sup>*1</sup><br>*1) 연결되는 노광기에 따라 기능이 다릅니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="스펙트럼-폭-e95-안정성-향상">스펙트럼 폭(E95) 안정성 향상</h4>



<p>스펙트럼 폭 제어 속도를 기존의 20배로 향상시키는 데 성공했습니다. 이에 따라 장치 가동 중의 스펙트럼 폭이 더욱 안정되어 크리티컬 디멘션 에러를 줄일 수 있습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="모듈-수명-연장">모듈 수명 연장</h4>



<p>주요 모듈의 수명을 연장시킴으로써 메인터넌스 빈도를 더욱 줄일 수 있습니다. 이에 따라 장기간에 걸쳐 장치를 가동할 수 있습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="헬륨-프리">헬륨 프리</h4>



<p>ArF 엑시머 레이저 가동에 이용되는 헬륨의 사용량을 제로로 하는 기술을 도입. 이에 따라 고객의 비용 절감 및 환경 부하 경감에 공헌합니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><thead><tr><th>사양항목값</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>≥ 60 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 &#8211; 20.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.20 – 0.45 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


GT65A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT64A_500.png" alt="GT64A" class="wp-image-7593" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT64A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT64A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT64A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading">450mm 웨이퍼ㆍ멀티 패터닝 노광장치 대응 첨단 ArF 엑시머 레이저</h2>



<p>GT64A는 120W의 세계 최고 수준의 대출력과 높은 광성능ㆍ안정성을, ‘환경 부하 경감’을 콘셉트로 극한까지 억제한 총 운용 비용으로 실현했습니다.<br>고객의 반도체 양산 체제를 뒷받침하기 위해, 성능과 효율의 최대화를 목표로 개발된 GT64A는 인젝션 락 방식을 채용한 GT 플랫폼의 6세대째에 해당합니다.<br>GT 플랫폼의 우수한 트윈 체임버ㆍ아키텍처, 출력 컨트롤 알고리즘과 빔 얼라이먼트 기술을 계승하여, 120W의 대출력, 높은 광성능ㆍ안정성을 달성하는 동시에, 세계 최정상급의 신뢰성, 복구 시간과 모듈 수명을 제공. 고객의 더욱 강해진 ArF 엑시머 레이저에 대한 장치 성능 향상, 총 운영 비용 절감에 대한 요구에 부응합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading">특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading">세계 최고 수준의 효율과 120W의 대출력</h4>



<p>GT64A는 인젝션 락 방식의 채용으로 달성된 세계 최고 수준의 레이저 발진 효율을 바탕으로, 450mm 웨이퍼ㆍ멀티 패터닝 노광에서도 높은 처리율(throughput)을 약속하는 120W의 대출력을 실현합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading">출력의 자동 가변</h4>



<p>출력의 자동 가변에도 대응하고 있으므로, 고객의 프로세스에 따른 최적의 광량을 공급할 수 있습니다. 또한 본 기능은 불필요한 빛의 발생을 방지할 수 있으므로, 운영 비용의 절감ㆍ환경 부하의 경감에도 효과를 발휘합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading">높은 레이저 빔 안정성</h4>



<p>멀티 패터닝 노광에서 보다 중요한 높은 패턴 중첩 정밀도(오버레이)의 실현, 임계 치수의 제어, 그리고 선폭 모서리 거칠기의 저감을 위해, 모든 출력 영역에 걸쳐 고안정성(에너지, 스펙트럼, 빔 형상)과 긴 펄스 폭을 달성하고 있습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading">낮은 환경 부하</h4>



<p>개발 콘셉트를 ‘환경 부하 경감’으로 설정하여 전기, 가스, 냉각 자원의 설비 비용을 극한까지 억제하는 데 성공. 총 운영 비용의 절감과 함께 사회적인 추세이기도 한 환경에 미치는 부정적인 영향을 억제하고 있습니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<p><strong>주 사양</strong></p>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>60 &#8211; 120 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 &#8211; 20.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.25 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>


GT64A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT63A_500.png" alt="GT63A" class="wp-image-7583" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT63A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT63A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT63A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading">멀티 패터닝용 액침 노광장치를 위한 차세대 ArF 엑시머 레이저 ‘GT63A’</h2>



<p>GT63A는 GT 시리즈의 최신 모델로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 5세대째에 해당합니다.<br>GT63A 시리즈는 넓은 초점 심도를 실현하는 스펙트럼 제어 기술(sMPL) *1), 저운용 비용을 실현하는 체임버 기술(sGRYCOS), 고가동률을 실현하는 제어 기술(sTGM), 고안정성을 실현하는 모니터링 기술(sMONITORING)의 4개 “s” 시리즈 기능을 투입하는 등 높은 기술로 고객에게 더욱 강력한 가치를 창조하여 신뢰에 보답하고 있습니다.<br>GT 시리즈는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다.<br>GT63A는 기존의 GT 시리즈와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading">GT63A의 특징: 4개의 “s” 시리즈 기능</h3>



<h4 class="wp-block-heading">sMPL</h4>



<p>sMPL(Spectrum Multi Positioning LNM) 기술은 스펙트럼 제어 폭을 기존의 10배 이상으로 높여 포커스 드릴링을 통한 넓은 초점 심도 확보를 실현합니다. 이 sMPL 기술을 탑재하면 기존의 기술로는 어려웠던 접점(Contact), 트렌치, 바이어 등 노광상의 프로세스 윈도우 확대를 CDU, 오버레이, 생산성 등에 미치는 악영향 없이 달성할 수 있습니다. 또한 sMPL은 노광기 제조업체 및 칩 제조업체와 공동으로 양산 시험을 실시하여 그 유효성 확인을 마쳤습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading">sGRYCOS</h4>



<p>sGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System) 기술은 엑시머 레이저의 주요 교환 부품인 체임버의 수명을 기존보다 1.5배 높여 저운용 비용을 실현합니다. sGRYCOS용으로 신규 개발한 체임버로 예비 전리의 강도를 높인 것 및 GT 시리즈에 탑재된 여유 있는 펄스 전력 전원을 통해 에너지 마진을 높여 기존품에 비해 대폭적인 내구성 향상을 실현했습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading">sTGM</h4>



<p>sTGM(Supreme Total Gas Manager) 기술은 파장 교정 방식으로 연구하여 기존의 2주일에 한 번 필요했던 레이저 가스의 교환을 필요 없게 만들어 고가동률과 저비용 운전을 실현합니다. GT 시리즈에서 축적한 가스 제어 기술은 성능(Performance)을 피드백하면서 레이저 체임버 내의 가스를 최적으로 유지할 수 있습니다. 이번에 sTGM용으로 신규 개발한 절대 파장 교정 모듈을 통해 기존에 필요했던 절대 파장 교정 시의 가스 교환을 필요 없게 만들어 정지 시간의 경감과 가스 비용의 절감을 모두 잡았습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading">sMONITORING</h4>



<p>sMONITORING(Smart Monitoring) 기술은 온라인에서 실시간으로 레이저의 성능을 감시하는 기능으로 고객의 FDC(Fault Detection and Classification) 시스템에도 연결할 수 있으며, 장치의 안정 가동에 공헌합니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>60/90 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0/15.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.3 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>


GT63A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT62A_500.png" alt="GT62A" class="wp-image-8005" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT62A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT62A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT62A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading">세계 최고 출력 90W를 실현한 액침 2중 노광에 대응하는 ArF 엑시머 레이저 ‘GT62A’</h2>



<p>GT62A는 GT 시리즈의 최신 모델로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 4세대째에 해당합니다. 액침 2중 노광을 지원하기 위해 90W의 출력을 제공합니다. 또한 다양한 고객 요구에 대응하기 위해 60W로 운전할 수도 있으며, 시스템 도입 시의 비용 대비 효과가 뛰어납니다.<br>체임버 및 광학 부품 등 소모품의 장수명화 기술 및 정지 시간을 최소로 줄이는 기가포톤의 독자적인 기술이 탑재되어, 경제적 측면에서도 최첨단 프로세스의 도입을 뒷받침합니다.<br>GT 시리즈는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다. GT62A는 기존의 GT 시리즈와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>GT62A의 특징</strong></h3>



<h4 class="wp-block-heading"><strong><strong><strong>고출력ㆍ고안정성</strong></strong></strong></h4>



<p>새로 개발한 전원을 채용하여 60W의 GT61A에 비해 50%의 향상을 달성하는 등 90W의 고출력을 실현했습니다. 고출력화에 따라 증대하는 열 부하에 대한 대책 기술, 새로 개발한 고내구성의 광학 소자를 탑재하여, 고출력 운전 시에도 성능의 안정성이 확보되어 있습니다. 또한 기가포톤의 독자적인 기술인 BCM(Bandwidth Control Module)을 표준 장착하고 있어 안정적인 스펙트럼을 제공합니다.<br>GT62A는 다양한 고객의 요구에 대응하기 위해 60W 출력 사양도 갖추었습니다. 이에 따라 도입 초기에는 비용을 억제하면서 60W 출력으로 운전을 계속하고, 장래에 필요한 시점에서 90W로 업그레이드할 수 있으므로, 최적의 타이밍에 필요한 투자를 하면서 사용할 수 있습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading"><strong><strong><strong>비용의 절감</strong></strong></strong></h4>



<p>반도체 제조장치는 비약적인 속도로 고성능화와 더불어 처리율의 고도화가 진행되고 있습니다. 이러한 제조장치를 최대한 고가동률로 운전하는 것이 고객 공장의 생산성 향상으로 이어질 것으로 생각하여, 기가포톤은 장기간에 걸쳐 모든 면에서 레이저의 고가동률을 달성ㆍ유지하기 위한 연구 개발 활동을 지속해 왔습니다. 그 기술은 GT 시리즈에 탑재되어 최신 GT62A에서는 가스 교환에 따른 정지 시간을 기존의 10분의 1로 줄이는 기술 및 체임버ㆍ광학 소자를 효율적으로 사용하여 실질적인 수명을 연장해 유지 보수 시간과 비용을 낮추는 기술이 탑재되어 있습니다.</p>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값*</th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>60/90 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0/15.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.35 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>


GT62A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT61A_500.png" alt="GT61A" class="wp-image-8013" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT61A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT61A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/05/GT61A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading">Hyper N.A. 액침 노광장치에 대응하는 최첨단 6kHz ArF 엑시머 레이저 제품</h2>



<p><em>N.A. 1.3 이상의 액침 노광장치에 대응하는 6kHz ArF 엑시머 레이저 GT61A.</em></p>



<p>기가포톤은 GT60A의 양산 출하로부터 채 1년이 경과하지 않은 시점에, 스펙트럼 폭(E95%)을 GT60A보다 30% 향상시켜 레이저 체임버 수명의 대폭적인 개선, 정지 시간의 경감과 유지 보수 비용의 절감을 실현한 GT61A 개발에 성공했습니다. GT61A는 GT40A 및 GT60A와 마찬가지로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 3세대째에 해당합니다. GT40A와 GT60A는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다. GT61A는 GT40A/GT60A와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>GT61A의 특징</strong></h3>



<h4 class="wp-block-heading"><strong><strong><strong><strong>스펙트럼 성능</strong></strong></strong></strong></h4>



<p>스펙트럼 폭(E95%) 0.5pm을 실현한 GT60A에 대폭적인 개량을 더해 같은 플랫폼상에서 스펙트럼 폭 0.35pm을 실현했습니다. 또한 새로 개발한 고정밀도의 계측장치 및 안정화 기구를 표준으로 채용하여, 장치가 수명을 다하는 순간까지 스펙트럼 성능의 고안정성을 추구합니다. 이를 통해 노광 프로세스의 안정도에 공헌할 것으로 예상됩니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading"><strong><strong><strong><strong>가동률ㆍ신뢰성</strong></strong></strong></strong></h4>



<p>레이저 체임버의 수명 연장으로 유지 보수 정지 시간의 경감과 동시에 비용 절감이 가능합니다. 물론 GT 시리즈의 큰 장점인 모듈 교환성을 포함한 서비스성도 확보되어 있으므로, 반도체 공장에서 필수로 생각하는 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다. 또한 실적이 있는 GT40A/GT60A 플랫폼상에 설계되고 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있으므로 안심하고 도입할 수 있습니다.</p>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값*</th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>60 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.35 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>


GT60AGT60A

45nm 이후의 기술 노드에 대응하는 신제품, 6kHz ArF 엑시머 레이저

특징

고출력ㆍ고발진 주파수

신뢰성ㆍ안정성

주 사양

Other ArF Immersion