GT63A

멀티 패터닝용 액침 노광장치를 위한 차세대 ArF 엑시머 레이저 ‘GT63A’

GT63A

GT63A는 GT 시리즈의 최신 모델로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 5세대째에 해당합니다.
GT63A 시리즈는 넓은 초점 심도를 실현하는 스펙트럼 제어 기술(sMPL) *1), 저운용 비용을 실현하는 체임버 기술(sGRYCOS), 고가동률을 실현하는 제어 기술(sTGM), 고안정성을 실현하는 모니터링 기술(sMONITORING)의 4개 “s” 시리즈 기능을 투입하는 등 높은 기술로 고객에게 더욱 강력한 가치를 창조하여 신뢰에 보답하고 있습니다.
GT 시리즈는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다.
GT63A는 기존의 GT 시리즈와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.


GT63A의 특징: 4개의 “s” 시리즈 기능

1. sMPL

sMPL(Spectrum Multi Positioning LNM) 기술은 스펙트럼 제어 폭을 기존의 10배 이상으로 높여 포커스 드릴링을 통한 넓은 초점 심도 확보를 실현합니다. 이 sMPL 기술을 탑재하면 기존의 기술로는 어려웠던 접점(Contact), 트렌치, 바이어 등 노광상의 프로세스 윈도우 확대를 CDU, 오버레이, 생산성 등에 미치는 악영향 없이 달성할 수 있습니다. 또한 sMPL은 노광기 제조업체 및 칩 제조업체와 공동으로 양산 시험을 실시하여 그 유효성 확인을 마쳤습니다.

2. sGRYCOS

sGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System) 기술은 엑시머 레이저의 주요 교환 부품인 체임버의 수명을 기존보다 1.5배 높여 저운용 비용을 실현합니다. sGRYCOS용으로 신규 개발한 체임버로 예비 전리의 강도를 높인 것 및 GT 시리즈에 탑재된 여유 있는 펄스 전력 전원을 통해 에너지 마진을 높여 기존품에 비해 대폭적인 내구성 향상을 실현했습니다.

3. sTGM

sTGM(Supreme Total Gas Manager) 기술은 파장 교정 방식으로 연구하여 기존의 2주일에 한 번 필요했던 레이저 가스의 교환을 필요 없게 만들어 고가동률과 저비용 운전을 실현합니다. GT 시리즈에서 축적한 가스 제어 기술은 성능(Performance)을 피드백하면서 레이저 체임버 내의 가스를 최적으로 유지할 수 있습니다. 이번에 sTGM용으로 신규 개발한 절대 파장 교정 모듈을 통해 기존에 필요했던 절대 파장 교정 시의 가스 교환을 필요 없게 만들어 정지 시간의 경감과 가스 비용의 절감을 모두 잡았습니다.

4. sMONITORING

sMONITORING(Smart Monitoring) 기술은 온라인에서 실시간으로 레이저의 성능을 감시하는 기능으로 고객의 FDC(Fault Detection and Classification) 시스템에도 연결할 수 있으며, 장치의 안정 가동에 공헌합니다.

주 사양*

발진 파장 193 nm
평균 출력 60/90 W
펄스 에너지 10.0/15.0 mJ
발진 주파수 6,000 Hz
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.3 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다