GT65A

서브 10nm 노드용 액침 노광기 대응, 생산성 향상에 공헌하는 ArF 엑시머 레이저

인젝션 락 방식을 채택한 플랫폼의 7세대에 해당하는 GT65A는 최첨단 기술을 도입하여 스펙트럼 폭(E95) 가변 및 안정성 향상에 의한 ‘노광 성능 개선’, 모듈 수명 연장에 의한 ‘고가동률’, 헬륨 프리에 의한 ‘환경 부하 경감’을 통해 더욱더 고객의 생산성(웨이퍼 아웃풋) 향상을 실현하고 있습니다.


특징

1. 스펙트럼 폭(E95) 가변
고객의 다양한 조건ㆍ용도에 맞게 스펙트럼 폭을 변경할 수 있습니다. 사용례로서 다른 세대 노광기의 콘트라스트 성능 차를 스펙트럼 폭으로 보정할 수 있습니다. 또한 스펙트럼 폭 가변 기능으로 OPC 특성의 장치 간 또는 마스크 간의 매칭도 가능합니다*1
*1) 연결되는 노광기에 따라 기능이 다릅니다.

2. 스펙트럼 폭(E95) 안정성 향상

스펙트럼 폭 제어 속도를 기존의 20배로 향상시키는 데 성공했습니다. 이에 따라 장치 가동 중의 스펙트럼 폭이 더욱 안정되어 크리티컬 디멘션 에러를 줄일 수 있습니다.

3. 모듈 수명 연장
주요 모듈의 수명을 연장시킴으로써 메인터넌스 빈도를 더욱 줄일 수 있습니다. 이에 따라 장기간에 걸쳐 장치를 가동할 수 있습니다.

4. 헬륨 프리
ArF 엑시머 레이저 가동에 이용되는 헬륨의 사용량을 제로로 하는 기술을 도입. 이에 따라 고객의 비용 절감 및 환경 부하 경감에 공헌합니다.


주 사양*
발진 파장 193 nm
평균 출력 ≥60 W
펄스 에너지 10.0 - 20.0 mJ
발진 주파수 6,000 Hz
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.20 – 0.45 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다