G41K-1H

130nm 이하 노드에 대응하는 4kHz KrF 엑시머 레이저

G41K-1H

4kHz KrF 엑시머 레이저 시리즈의 제2세대 모델인 G41K에 대해, 자기 부상 레이저 체임버, 고효율 LNM, MM을 표준 탑재한 모델입니다.
고효율로 1등급 위인 40W 출력을 달성. 더욱 강화된 선량을 요구하는 첨단 노광 프로세스에 대응합니다. 광학 모듈은 30 빌리언 펄스의 장수명화를 달성(당사 G41K 대비 50% 향상).
G41K에서 G41K-1H로는 모듈 교환을 통해 현장에서 업그레이드할 수 있습니다.


주요 특징

  • G41K의 더욱 강력한 고효율을 통해 40W의 고출력/초저 CoO를 실현
  • TGM 소프트웨어를 통해 가스 수명을 기존 대비 100% 연장 가능
  • 수백 대의 시장 가동 레이저가 말해 주는, 압도적으로 고신뢰성

주 사양*

발진 파장 248 nm
평균 출력 40 W
펄스 에너지 10.0 mj
발진 주파수 4,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM) 0.35 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 1.1 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다