G45K

50W 대응 4kHz KrF 엑시머 레이저

 

4kHz KrF 엑시머 레이저의 제3세대 모델인 G45K는 최첨단 메모리 칩 생산 효율성 향상을 위한 최대 50W의 고출력 모델입니다. 또한 모듈 수명 연장과 Green Technology를 통해 ‘가동률 향상’과 ‘환경에 대한 부하경감’을 양립합니다.


특징

1. 고출력화
기존 대비 +25%의 고출력 파워인 50W를 실현했습니다. 최첨단 메모리 칩의 생산성 향상에 기여합니다.

2. 모듈 수명 연장
주요 모듈의 수명을 20% 연장시켜 유지 보수를 위한 다운 타임 절감을 실현했습니다. 이에 따라 더 큰 장치 가동률의 향상을 기대할 수 있습니다.

3. Green Technology
장치 가동 중 헬륨(He) 개스의 사용량을 제로로 하는 “He Free” 표준 탑재, 또한 네온(Ne) 가스 재활용 시스템인 “hTGM”을 연결하여 유지 비용 절감과 환경에 대한 부하경감에 기여합니다.


주 사양*
발진 파장 248 nm
평균 출력 40 W – 50 W
펄스 에너지 10.0 - 12.5 mJ
발진 주파수 4,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM) 0.35 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 1.1 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다