G60K

기존의 150% 고출력을 실현하여 장래의 추가적인 출력 요구에 대응하는 KrF 노광용 광원

G60K
 
기가포톤의 오랜 기술과 경험의 축적을 답습한 제품인 KrF 광원 기술을 기반으로 스캐너 스루풋 300매/h 이상에 대응하는 KrF 노광용 광원 G60K는 기존 대비 150% 출력을 가능하게 하고, 나아가 모듈 수명을 최대 200% 연장시켜 가용성 개선을 제공합니다. 또한 신규 개발 전원과 모듈을 통해 장래의 고출력화에 대비한 고주파수화 등의 성능 향상에도 대응하는 확장성을 겸비하고 있으며, 향후의 KrF 노광 기술의 요구에도 대응합니다. 또한 헬륨 프리 기술도 표준 탑재되어 유틸리티의 소비량 절감에도 공헌합니다.


주요 특징

  1. 스캐너 스루풋 300매/h 대응 고출력화
    신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 150%인 60W의 출력을 가능하게 했습니다. 이를 통해 후막 레지스트 등의 저감도 레지스트에서도 스루풋 로스를 억제하고 동시에 추가적인 생산성 향상에 공헌합니다.
  2. 이미 실적이 있는 99.9% 이상의 가용성 대응 기술의 답습
    필드에서의 높은 가용성과 성능의 안정성에 있어서 고객으로부터 높은 평가를 받고 있는 모델 G41K의 기술을 기반으로 모든 출력 대역에서 99.9% 이상의 가용성을 실현합니다. 또한 신기술을 투입하여 모듈 수명을 200% 연장시켜 가용성 향상을 제공합니다.
  3. 서스테이너빌리티 솔루션의 제공
    헬륨 프리 기술의 표준 장비로 희귀 가스의 공급 부족 리스크에 대비할 뿐만 아니라 유틸리티의 소비량 절감 기술을 통해 환경에도 배려한 광원입니다.

주요 사양*
발진 파장 248 nm
출력 40W - 60W
펄스 에너지 10mJ - 15mJ
발진 주파수 4000Hz
특징 Continuous Reliability Improvement (CRI) Package
서스테이너빌리티 솔루션
・Helium Free Operation
・TGM Gas Management
(*) 각 사양값은 대표값입니다