GIGANEX Series

GIGANEX-LOGO (Photo)
GIGANEX-RED (Photo)

*예상 케이스 이미지입니다. 당사의 사정으로 예고 없이 변경될 수도 있습니다.

기가포톤의 GT 시리즈와 새로운 기술을 융합한 최첨단 엑시머 레이저

지금까지 기가포톤이 반도체 리소그래피용 광원의 엑시머 레이저 제조에서 얻은 기술과 노하우를 결집하여 고객과의 기술 융합을 통해 새롭게 제작하는 GIGANEX는 고성능 DUV 광원으로, 반도체 리소그래피 이외의 분야에서도 새로운 혁신을 창출할 수 있을 것으로 저희는 확신하고 있습니다.

기대하는 응용 분야
FPD 제조 프로세스, 플렉서블 디바이스 제조 프로세스, 반도체 제조 프로세스

고출력 엑시머 레이저

GIGANEX 시리즈는 기가포톤의 GT 플랫폼상에 설계되어 있으며, 최대한의 공통화를 이루어 높은 신뢰성을 기대할 수 있습니다. 또한 GT의 특징인 고출력ㆍ고발진주파수를 계승하여 보다 높은 생산성의 실현을 기대할 수 있습니다.

 

고반복 타입 엑시머 레이저

기종 G300K GT600K
G300K GT600K
파장 248 nm
최대 펄스 에너지 75 mJ 100 mJ
최대 평균 출력 300 W 600 W
최대 반복 주파수 4 KHz 6 KHz
레이저 본체 치수 1975 x 800 x 1950 (mm) 2800 x 820 x 2120 (mm)
무게 1600 kg 3400 kg

 


  1. 주 사양은 당사의 사정으로 예고 없이 변경될 수 있습니다. 양해를 부탁드립니다.
  2. 관심이 있으시면 당사 담당 부서에 문의하십시오.
  3. 시장 수요, 당사의 사정으로 변경될 수 있습니다. 양해를 부탁드립니다.