2. 액정 제조용 레이저 어닐링의 과제

4K/8K 제조 프로세스의 과제

액정 패널의 해상도는 해마다 향상되어 소형ㆍ중형 패널에 적용되고 있습니다. 그러나 대형 패널에서는 보다 고해상도이면서 저비용으로 제조하는 것이 과제로 남아 있습니다.
4K/8K의 패널은 2020년까지 판매될 것으로 예상되고 있습니다만, 대형화와 저비용화가 과제입니다.

대면적 엑시머 레이저 어닐링(ELA)의 어려움?

현재의 레이저 어닐링에서는 레이저 빔을 라인 형상(라인 빔)으로 형성하여 재료 표면을 어닐링하는 기술이 주류입니다. 이 방식에서는 Gen8.5 이상의 패널을 어닐링할 경우, 라인 빔의 광학 렌즈 지름이 1.5m 이상 필요하게 되어 균일한 빔을 형성하기 어렵습니다.
한편, 레이저의 펄스 에너지는 1J~2J 정도의 고에너지가 요구됩니다. 그러나 엑시머 레이저에서는 1펄스당 고에너지화와 고반복화의 양립이 어렵기 때문에 처리량의 향상에는 한계가 있습니다. 또한 이 방식에서는 1스캔으로 Gen10을 어닐링하기 어려워 120인치 이상의 패널을 제조하기 위해서는 다른 방법을 검토해야 합니다.

극소 면적 레이저 어닐링 방식(MLA)

이 레이저 어닐링 방식은 패널 크기를 얼마든지 크게 만들 수 있는 유일한 방법입니다. 그러나 어닐링 장치의 처리량을 올리기 위해서는 레이저 펄스의 고에너지화와 고반복화의 양립이 필수입니다.