디스플레이 패널용 레이저 어닐링

액정디스플레이의 화면표시원리

 

액정 디스플레이는 가로세로로 나열된 화소가 모여 하나의 이미지가 그려집니다. 이미지를 1초에 몇 번이고 다시 씀으로써 동영상이 됩니다.
이미지 다시 쓰기는 서브 화소에 있는 TFT의 On/Off를 반복하여 이루어집니다.

  • TFT의 전환 속도가 빠를수록 움직임이 빠른 동영상에 대응할 수 있습니다.
  • 화소가 작고 많을수록 고정밀 이미지가 됩니다.

 

레이저 어닐링의 효과

 

화소 구동용 TFT에 예전부터 사용되는 비정질 실리콘(a-Si)에는 전기를 통과시키기 어려운 성질이 있습니다만, 레이저를 조사하여 a-Si을 어닐링하면 실리콘이 용융ㆍ재결정화(다결정화)되어 전기를 통과시키기 쉬운 폴리 실리콘(p-Si)이 됩니다. 레이저 어닐링에 의해 TFT의 전기 특성의 향상이 가능해지는 것입니다. 예전에는 a-Si을 노에서 고온 가열하여 p-Si화를 했습니다만, TFT 이외에도 열의 영향을 받는 경우나 가열에 시간이 걸리는 등의 과제가 있었습니다. 레이저 어닐링은 조사부를 급속히 가열ㆍ냉각할 수 있기 때문에 노에 의한 고온 가열에 존재하던 과제를 해결했습니다.

 

레이저 어닐링 방법의 특징

 

TV의 화면 크기가 대형화됨에 따라 양산되는 디스플레이 기판의 크기도 대형화되고 있습니다. 기존의 레이저 어닐링 방식은 렌즈 크기의 제약상 어닐링 가능한 디스플레이 기판의 크기에 제한이 있었습니다. 기가포톤은 디스플레이 크기에 제한이 없는 어닐링 기술을 목표로 어닐링 장치 제조사와 공동 개발을 실시하고 있습니다.