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透過支援半導體需求驟增的最新技術提升產能



2021年10月26日



栃木縣小山市：2021年10月26日，半導體微影光源製造商<a href="https://www.gigaphoton.com/ct/">Gigaphoton株式會社</a>（總公司：栃木縣小山市；總裁：浦中克己）宣布，最尖端的ArF濕浸式微影光源「GT66A」已在世界半導體廠正式運作中。



近年來，全球急速增加的電子產品和雲端設備需求趨勢下，用於這些產品和設備的半導體需求也在激增。再者，由於DX逐步深入到企業，以及為了邁向碳中和社會的EV增產和轉換為可再生能源等，半導體在社會基礎設施中扮演樞紐的角色，因此更進一步帶動半導體的需求。特別是自動駕駛和高性能伺服器 ，這種同時具備高速運算和低耗電的高端設備需求的成長，更加速了半導體的需求。



GT66A是支援這種高端設備專用半導體所需5nm節點，以及生產新世代節點的機種。



此外，GT66A透過降低 (30%) 光斑對比值，以減少佈線和光阻劑曝光圖樣偏離的 EPE。可望藉此抑制顯示壁面微細圖樣凹凸尺寸的LER，以及顯示因凹凸產生圖樣寬幅偏差的LWR，以提升成品率 (yield)。再加上導入高耐久性零組件，將維修週期延長30%，以提升裝置可用性，並可實現超高產能。



Gigaphoton總裁兼CEO浦中克己表示：「GT66A以穩定生產最尖端半導體及高成品率為指標，特別鎖定提升最尖端製程節點產能之下投入市場。Gigaphoton往後也將繼續透過活動，以利求整體半導體廠的產能最大化。」



Gigaphoton公司簡介 作為開發和生產微影DUV光源先驅企業的Gigaphoton，從成立初期便對全球半導體製造商，提供運用最尖端技術的多項解決方案。此外，也積極投入於開發EUV光源。作為具備豐富知識的專業集團，始終站在用戶立場的Gigaphoton，將繼續從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。 更多詳細介紹請參閱<a href="https://www.gigaphoton.com/ct/">https://www.gigaphoton.com/ct/</a>



新聞公關聯絡窗口: GIGAPHOTON 經營企畫部 Email: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a>

正式運作最尖端ArF濕浸式微影光源「GT66A」

<h5 class="wp-block-heading">以高出以往2倍的產能因應大幅成長的市場需求</h5>



2021年9月15日



栃木縣小山市；2021年9月15日、半導體微影光源製造商<a href="https://gigaphoton.com">Gigaphoton Inc.</a>（總公司：栃木縣小山市、總裁：浦中克己）宣佈，準分子雷射光源的產能，將在2023年之前提高為以往的2倍。



近年來，因全球半導體需求大幅成長，各國主要半導體製造商紛紛加速投資半導體生產設備。半導體微影光源製造商Gigaphoton Inc.也預測，市場需求增加，今後穩健的需求仍將持續。



為了建構更穩定的供應體制以因應市場的需求，Gigaphoton正在建造的新辦公大樓將於2022年4月落成，屆時可望全力運用生產設備及達成製程效率和最佳化，同時將產能提升2倍。



Gigaphoton總裁兼CEO浦中克己表示：「在全球居高不下的半導體需求當中，本公司也將致力於全力回應客戶的需求。今年度，我們除了充分利用現有資源全力投入生產的同時，也提高生產計畫和前置時間 (lead time)。明年新辦公大樓落成時，將可望建立更穩定的供應體制。身為半導體製造所不可或缺的微影光源製造商，往後也將繼續擔負起責任，透過供應產品及支援運作，為產業界做出貢獻。」



關於GIGAPHOTON



2000年成立以來，GIGAPHOTON作為雷射光源製造供應商，不斷提供具有價值且高度整合方案給全球半導體廠商。GIGAPHOTON從研究開發以至製造・銷售・保修服務的所有環節，將承諾秉持著客戶導向的精神，堅持業界最高水準的技術服務持續邁進。詳細資訊請參閱網站<a href="https://www.gigaphoton.com/ct/">https://www.gigaphoton.com/ct/</a>。



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正式運作最尖端ArF濕浸式微影光源「GT66A」

Gigaphoton加強準分子雷射光源產能