本產品已停止接受新訂單。
支援 0.13μm 設計規則的 2 kHz ArF 準分子雷射裝置
主要特色
- 進一步提升飽受好評的 G20K 能量安定性
- 改良窄頻寬化光學系統，實現支援 0.13 µm 技術節點微影製程的超窄頻寬化性能：頻譜半值 0.5 pm
主要規格
| 規格項目 | 值* |
|---|---|
| 發射波長 | 248 nm |
| 平均輸出功率 | 20 W |
| 脈衝能量 | 10.0 mj |
| 發射頻率 | 2,000 Hz |
| 譜頻幅度（FWHM） | 0.5 pm |
| 譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95） | 1.4 pm |
| 累計能量安定性 | 0.35 % |
