Quality&ReliabilityQuality&Reliability
"Kaizen"을 통한 품질 향상
간단히 말해서, 일본어로 "카이젠"은 향상과 세련됨을 의미한다. Gigaphoton에서는 타의 추종을 불허하는 고품질의 정밀 제품을 제공할 수 있는 능력의 중심에 카이젠의 끊임없는 노력이 있습니다.
코마츠 웨이의 계승
우리의 모든 광원 제품은 146에이커의 코마츠 오야마 공장 내에 있는 본사에서 제조됩니다. Gigaphoton의 생산 부문은 최첨단 정보 기술과 최첨단 생산 기술을 결합하는 한편, 코마츠 웨이 전통을 계승하여, 시장의 요구에 신속하게 대응할 수 있는 기술개발, 품질 관리 이니셔티브를 추진하고 있습니다. 그 결과 최첨단 광원 제품의 높은 생산성이 실현됩니다.
최첨단 공장
엑시머 레이저 광원은 클래스 5~8(ISO 14644-1 클린룸 표준)/클래스 100~100,000(US FED STD 209E 클린룸 표준)의 클린룸으로 구성된 전용 클린룸 공장에서 제조됩니다. 생산 부문의 작업 흐름은 부품 관리, 조립 및 검사 부문에 걸쳐 있습니다.
조립품
조립 부분에서는 각 모듈의 특성에 맞는 적절한 셀 생산 방법 1)과 라인 생산 방법 2)을 사용한다. 라인 생산 방법은 ArF 및 KrF 레이저 프레임을 조립하는 데 사용됩니다. 챔버는 클린룸 내의 높은 청결도의 부스에 조립됩니다. 모든 조립 작업은 숙련된 전문가가 정확한 전자 설명서에 따라 수행하여 높은 품질을 보장합니다. 모든 중요 관리 지수는 품질 관리 시스템에 기록됩니다.
면밀한 조사
조립 후 검사는 셀 생산 방식으로 진행되며, 직원 1명이 여러 개의 셀을 담당합니다. 자동 검사 장비를 사용하면 24시간 365일 자동 검사가 가능하므로 제조 리드 타임이 단축되고 생산성이 향상됩니다.