ArF Dry

ArF Immersion

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<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png" alt="GT45A" class="wp-image-7624" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="gt65a의-최첨단-기술을-적용-높은-기능-확장성으로-더욱-향상된-생산성-웨이퍼-아웃풋-을-실현">GT65A의 최첨단 기술을 적용, 높은 기능 확장성으로 더욱 향상된 생산성(웨이퍼 아웃풋)을 실현</h2>



<p>GT45A는 최첨단 ArF 액침용 광원인 GT65A 플랫폼을 기반으로 한 높은 기능 확장성을 갖춘 모델입니다.<br>최신형 모듈 탑재에 의한 ‘고가동률’, 현행 모델 GT40A에서 계승한 ‘헬륨 프리’로 생산성 향상과 환경 부하 경감을 동시에 실현합니다.<br>또한 스펙트럼 폭 안정성의 향상, 가변 기술, 최대 90W의 고출력화를 가능하게 하여 고객님의 다양한 요구에 부응합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



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<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="특징">특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="모듈-수명-연장">모듈 수명 연장</h4>



<p>GT65A에서 도입 실적이 있는 모듈 수명 연장 기술을 기본 탑재. 유지 보수 빈도를 줄여 생산성 향상에 공헌합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="높은-기능-확장성">높은 기능 확장성</h4>



<p>GT65A에서 사용 가능한 기능ㆍ기술을 탑재할 수 있습니다.</p>



<ul><li>스펙트럼 폭 안정성 향상에 의한 CD 균일성의 향상</li><li>스펙트럼 폭 가변 기술에 의한 다른 세대 노광기에서의 콘트라스트 성능 차의 보정</li><li>발진 주파수 6kHzㆍ최대 90W의 고출력화에 의한 더욱 향상된 생산성(스루풋)</li><li>sMonitoring에 의한 데이터 수집ㆍ모니터링 및 분석</li></ul>
</div></div>



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<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양">주 사양</h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>45 &#8211; 90 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>11.25 &#8211; 15 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 &#8211; 6,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>≤ 0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


GT45A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png" alt="GT40A" class="wp-image-7623" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="65nm-이후의-기술-노드에-대응하는-4khz-arf-엑시머-레이저-제품">65nm 이후의 기술 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저 제품</h2>



<p>노광장치용 광원으로 세계 최초로 인젝션 락 기술을 채용하여, 기존에는 곤란한 것으로 인식되던 좁은 스펙트럼과 고출력의 양립을 가능하게 했습니다. 또한 광학계에 미치는 손상을 줄이는 낮은 피크의 펄스 에너지를 발진하여 업계 최고 수준의 저운용 비용을 실현. 또한 새로 개발한 고도 자기 진단 기능(self diagnosis)을 탑재하고 있을 뿐만 아니라, 모듈 교환성 등 서비스성을 대폭 개량하여 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="특징">특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="인젝션-락-레이저"><strong>인젝션 락 레이저</strong></h4>



<p>양산기로 업계 최초의 <em>인젝션 락 </em>기술(*)을 채용하여 45W의 고출력과 반값 전폭에서는 0.2pm, E95에서는 0.5pm이라는 업계 최고 수준의 스펙트럼 선폭의 DUV광을 고도로 안정시켜 발진할 수 있습니다. 또한 레이저 및 노광장치가 광학계에 미치는 손상을 줄이는 낮은 피크의 펄스 에너지를 실현하고 있습니다.phy tool optics.</p>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td><strong>인젝션 락 </strong>기술이란 매우 좁은 스펙트럼 폭으로 튜닝하여 발진시킨 저출력의 레이저광(Master)을, 대출력의 레이저 공진기(Amplifier)에 주입하여 레이저 공진을 통해 증폭하는 기술로, 기존에는 곤란한 것으로 인식되던 좁은 스펙트럼과 고출력의 양립을 가능하게 하는 기술입니다.</td></tr></tbody></table></figure>



<h4 class="wp-block-heading" id="업계-최고-수준의-저운용-비용"><strong>업계 최고 수준의 저운용 비용</strong></h4>



<p>The injection-locking technology allows greater reduction of the load upon the laser optics. 인젝션 락 기술을 통해 레이저 광학 부품에 대한 부하가 경감되고, 또한 시스템 구성을 개선하여 소모품(모듈)의 종류ㆍ교환 빈도가 대폭 경감되었습니다. 그 결과 업계 최고 수준의 저운용 비용을 실현하고 있습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="고신뢰ㆍ고가동-설계"><strong>고신뢰ㆍ고가동 설계</strong></h4>



<p>또한 새로 개발한 고도 자기 진단 기능(self diagnosis)을 탑재하고 있을 뿐만 아니라, 모듈 교환성 등 서비스성을 대폭 개량하여 반도체 공장에서 필수로 생각하는 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>45 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>11.25 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 선폭 (FWHM)</td><td>0.2 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


GT40A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png" alt="G42A" class="wp-image-7658" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="80nm-노드에-대응하는-4khz-arf-엑시머-레이저">80nm 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저</h2>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">주요 특징</h3>



<ul><li>G41A를 바탕으로 스펙트럼 폭(반값 전폭)을 G41A의 0.35pm에서 0.3pm으로 개량하여 80nm 설계 규칙에 대한 대응을 가능하게 했습니다</li><li>각 모듈에 고내구성 부품을 채용하여 수명을 늘려 CoO를 대폭 경감</li><li>레이저 체임버: 전극에 고내구성 부품을 채용</li><li>협대역화 모듈, 모니터 모듈 등: 광학 부품에 고내구성 재료를 채용</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값*</th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>20 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 선폭 (FWHM)</td><td>0.3 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.75 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


G42A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png" alt="G41A" class="wp-image-7664" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="100nm-노드에-대응하는-4khz-arf-엑시머-레이저">100nm 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저</h2>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">주요 특징</h3>



<ul><li>새로 설계한 고체 펄스 전원을 통해 주파수 4000Hz로 발진할 수 있으며, 20W의 고처리율을 실현</li><li>기가포톤 KrF 레이저(G10K 시리즈, G20K 시리즈)의 고신뢰성 설계를 적용</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong><strong><strong>주 사양</strong></strong></strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th><strong>값</strong><sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>20 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 선폭 (FWHM)</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>0.85 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다發射波長</figcaption></figure>
</div></div>


GT45AGT45A

GT65A의 최첨단 기술을 적용, 높은 기능 확장성으로 더욱 향상된 생산성(웨이퍼 아웃풋)을 실현

특징

모듈 수명 연장

높은 기능 확장성

주 사양

Other ArF Dry

GT40A

G42A

G41A

사양 항목	값^*
발진 파장	193 nm
평균 출력	45 – 90 W
펄스 에너지	11.25 – 15 mJ
발진 주파수	4,000 – 6,000 Hz
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)	≤ 0.5 pm