GT61A

Hyper N.A. 액침 노광장치에 대응하는 최첨단 6kHz ArF 엑시머 레이저 제품

GT61A

N.A. 1.3 이상의 액침 노광장치에 대응하는 6kHz ArF 엑시머 레이저 GT61A.

기가포톤은 GT60A의 양산 출하로부터 채 1년이 경과하지 않은 시점에, 스펙트럼 폭(E95%)을 GT60A보다 30% 향상시켜 레이저 체임버 수명의 대폭적인 개선, 정지 시간의 경감과 유지 보수 비용의 절감을 실현한 GT61A 개발에 성공했습니다. GT61A는 GT40A 및 GT60A와 마찬가지로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 3세대째에 해당합니다. GT40A와 GT60A는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다. GT61A는 GT40A/GT60A와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.


GT61A의 특징

1. 스펙트럼 성능

스펙트럼 폭(E95%) 0.5pm을 실현한 GT60A에 대폭적인 개량을 더해 같은 플랫폼상에서 스펙트럼 폭 0.35pm을 실현했습니다. 또한 새로 개발한 고정밀도의 계측장치 및 안정화 기구를 표준으로 채용하여, 장치가 수명을 다하는 순간까지 스펙트럼 성능의 고안정성을 추구합니다. 이를 통해 노광 프로세스의 안정도에 공헌할 것으로 예상됩니다.

2. 가동률ㆍ신뢰성

레이저 체임버의 수명 연장으로 유지 보수 정지 시간의 경감과 동시에 비용 절감이 가능합니다. 물론 GT 시리즈의 큰 장점인 모듈 교환성을 포함한 서비스성도 확보되어 있으므로, 반도체 공장에서 필수로 생각하는 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다. 또한 실적이 있는 GT40A/GT60A 플랫폼상에 설계되고 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있으므로 안심하고 도입할 수 있습니다.

주 사양*

발진 파장 193 nm
평균 출력 60 W
펄스 에너지 10.0 mJ
발진 주파수 6,000 Hz
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.35 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다