GT62A

세계 최고 출력 90W를 실현한 액침 2중 노광에 대응하는 ArF 엑시머 레이저 ‘GT62A’

GT62A

GT62A는 GT 시리즈의 최신 모델로 인젝션 락 방식을 채용한 플랫폼의 4세대째에 해당합니다. 액침 2중 노광을 지원하기 위해 90W의 출력을 제공합니다. 또한 다양한 고객 요구에 대응하기 위해 60W로 운전할 수도 있으며, 시스템 도입 시의 비용 대비 효과가 뛰어납니다.
체임버 및 광학 부품 등 소모품의 장수명화 기술 및 정지 시간을 최소로 줄이는 기가포톤의 독자적인 기술이 탑재되어, 경제적 측면에서도 최첨단 프로세스의 도입을 뒷받침합니다.
GT 시리즈는 이미 각국의 주요 사용자들이 안심하고 구입해 사용하고 있으며, 그 설계 사상ㆍ신뢰성이 높게 평가되고 있습니다. GT62A는 기존의 GT 시리즈와 같은 플랫폼상에 설계되고 있으며, 최대한 공통화하려는 노력으로 인해, 사용자는 그 도입 초기부터 고신뢰성을 기대할 수 있습니다.


GT62A의 특징

1. 고출력ㆍ고안정성

새로 개발한 전원을 채용하여 60W의 GT61A에 비해 50%의 향상을 달성하는 등 90W의 고출력을 실현했습니다. 고출력화에 따라 증대하는 열 부하에 대한 대책 기술, 새로 개발한 고내구성의 광학 소자를 탑재하여, 고출력 운전 시에도 성능의 안정성이 확보되어 있습니다. 또한 기가포톤의 독자적인 기술인 BCM(Bandwidth Control Module)을 표준 장착하고 있어 안정적인 스펙트럼을 제공합니다.
GT62A는 다양한 고객의 요구에 대응하기 위해 60W 출력 사양도 갖추었습니다. 이에 따라 도입 초기에는 비용을 억제하면서 60W 출력으로 운전을 계속하고, 장래에 필요한 시점에서 90W로 업그레이드할 수 있으므로, 최적의 타이밍에 필요한 투자를 하면서 사용할 수 있습니다.

2. 비용의 절감

반도체 제조장치는 비약적인 속도로 고성능화와 더불어 처리율의 고도화가 진행되고 있습니다. 이러한 제조장치를 최대한 고가동률로 운전하는 것이 고객 공장의 생산성 향상으로 이어질 것으로 생각하여, 기가포톤은 장기간에 걸쳐 모든 면에서 레이저의 고가동률을 달성ㆍ유지하기 위한 연구 개발 활동을 지속해 왔습니다. 그 기술은 GT 시리즈에 탑재되어 최신 GT62A에서는 가스 교환에 따른 정지 시간을 기존의 10분의 1로 줄이는 기술 및 체임버ㆍ광학 소자를 효율적으로 사용하여 실질적인 수명을 연장해 유지 보수 시간과 비용을 낮추는 기술이 탑재되어 있습니다.

주 사양*

발진 파장 193 nm
평균 출력 60/90 W
펄스 에너지 10.0/15.0 mJ
발진 주파수 6,000 Hz
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.35 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다