G10K

0.25μm-0.18μm 설계 규칙에 대응하는 1kHz 엑시머 레이저

G10K

엑시머 레이저는 불화ㆍ고전압 방전ㆍ심자외광이라는 화학 반응성이 강한 요소를 사용하므로, 안정성과 내구성의 실현이 최대의 기술 과제였습니다. 노광용 엑시머 레이저에는 이 성능과 더불어 빛의 고도의 단색성과 출력 에너지의 균일성이 요구됩니다.

G10K는 이러한 어려운 과제를 처음으로 해결한 엑시머 레이저로서, 1997년에 출시했을 때부터 그 획기적인 안정 가동과 성능이 리소그래피 광원 시장에서 높이 평가되어, 현재도 현장에서 활약하고 있습니다.


의 주요 특징

  • 안정 발진과 고내구성으로 고가동률과 경제성을 실현
  • 독자적인 RF 예비 전리 방식, 신형 고전압 펄스 전원의 개발로 발진 안정성을 대폭 개선하고, 동시에 내구 성능도 대폭 향상
  • 각 구성 모듈의 여유 있는 성능 실현과 모든 부품ㆍ모든 공정에서 철저한 품질 보증 체제를 통해 제품의 고신뢰성을 확보

주 사양*

발진 파장 248 nm
평균 출력 10 W
펄스 에너지 10.0 mj
발진 주파수 1,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM) 0.6 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 2.0 pm
적산 에너지 안정성 0.5 %
(*) 각 사양값은 대표값입니다