G20K

0.18μm 설계 규칙에 대응하는2kHz KrF 엑시머 레이저

G20K

G20K는 에너지 안정성 ±0.4%, 반값 0.6pm 이하의 좁은 스펙트럼 선폭으로 0.18μm 노드의 리소그래피를 통한 고해상도에 대응합니다.

의 주요 특징

  • 발진 주파수를 G10K의 1000Hz에서 2000Hz로 끌어올려 고처리율을 실현
  • 레이저 발진의 안정성과 모듈 내구성을 대폭 향상시켜 더욱 강화된 CoO(펄스당 운용 비용) 경감을 달성
  • G10K에 비해 설치 바닥 면적을 14% 축소한 콤팩트한 케이스
  • 새로 설계한 고체 펄스 전원 모듈을 통해 전력 소비량을 20% 절감

주 사양*

발진 파장 248 nm
평균 출력 20 W
펄스 에너지 10.0 mj
발진 주파수 2,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM) 0.35 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 1.1 pm
적산 에너지 안정성 0.4 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다