0.18μm 설계 규칙에 대응하는2kHz KrF 엑시머 레이저

의 주요 특징

  • 검증된 G20K의 에너지 안정성을 더욱 향상
  • 협대역화 광학계의 개량을 통해 0.13µm 기술 노드의 리소그래피 프로세스에 대응하는 초협대역화 성능: 스펙트럼 반값 0.5pm을 실현

주 사양

사양 항목*
발진 파장248 nm
평균 출력20 W
펄스 에너지10.0 mj
발진 주파수2,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM)0.5 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)1.4 pm
적산 에너지 안정성0.35 %
(*) 각 사양값은 대표값입니다