G21K

0.13μm 설계 규칙에 대응하는 2kHz KrF 엑시머 레이저

G20K

의 주요 특징

  • 검증된 G20K의 에너지 안정성을 더욱 향상
  • 협대역화 광학계의 개량을 통해 0.13µm 기술 노드의 리소그래피 프로세스에 대응하는 초협대역화 성능: 스펙트럼 반값 0.5pm을 실현

주 사양*

발진 파장 248 nm
평균 출력 20 W
펄스 에너지 10.0 mj
발진 주파수 2,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM) 0.5 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 1.4 pm
적산 에너지 안정성 0.35 %
(*) 각 사양값은 대표값입니다