高级研究员
沟口　计

从技术观点角度，您认为 GIGAPHOTON 今后最急需的是什么？

最急需的当然是可正常运转的 HVM（量产）用 EUV 光源。但是像中层的其他各层用 ArF 激光，我想也会持续研制。如此一来，ArF 激光需要进一步的更新以及提升商品竞争力。我们希望藉此在 EUV、Deep EUV 两方面拿下全球第一。

今后 GIGAPHOTON 面临的最大挑战是什么？

GIGAPHOTON 是以准分子激光技术起家，要想历经多年后依然稳居全球龙头，或是不断朝第一宝座冲刺，就要看人才了。人才要教育，优秀人才要能聘用，让 GIGAPHOTON 成为优秀人才趋之若鹜的公司。到目前为止，公司主要由创业以来的人才们领军发展，但为了今后的永续发展，公司必须持续让新世代工程师能挥洒能力。这些，也就是挑战吧。

再者就是信息。公司对外也应维持稳健的网络。譬如：以往多是与国内大学进行合作，今后也要与海外研究机构、其他公司／业界持续合作。我们并不是全能，专精的技术当然在公司内精益求精，但不甚擅长的技术就要借重其他公司／业界的力量。当然也不是不考虑从零开始的方法，但这样会来不及。总之就是以最快的脚步持续挑战全球第一的目标。

次世代半导体制造技术虽有多种选择，您认为今后技术朝向的方向性会在何处？

截至目前，技术随着时代而切换不已，而今后我认为将是多种技术并存的时代。当然现在已经是这样的状况，但今后将越来越明显。然后呢，半导体组件的种类也越来越多，将由比以往更广泛的组件形成半导体的需求基准。以前是以 PC 为中心，目前则是智能手机、平板电脑等装置爆发性的扩散。今后可能会有更多方面的发展。

GIGAPHOTON 希望在其中发展哪种技术？

首先要在光刻坦途打一场胜仗。光刻是我们的一个重要商务，也是支撑业界的一项关键科技。主力自然要善加经营。坦途自然要光明正大走，但也不光是走着，还要看清目前是小众却可能有日后发展潜力的事物并加以吸收。希望能有更大的野心。

GIGAPHOTON 拥有技术的最大强项是什么？

GIGAPHOTON 对于独特的构思会及早吸收。光是这样，其他创新企业也能办到，但我们更有将吸收的构思打造成技术的韧性。此外，一旦发现行不通就立即改变的转换速度。最大的强项就是这三项吧。

目前的 EUV 虽是以二氧化碳激光与微液滴冷却的形式构成，但一开始并非如此，实际是在 2002 年起至 2007 年止约 5 年时间试遍各种方法后，才获得这个结果。准分子激光也是到了 1998 年左右才形成目前的方式。在此之前，我们是有方法就试试看，找出最佳的结果，才形成现在的成果。结果来说，所谓的独特方法，重点在于遇到没有人做的方法就试试看，而且要用别人的 3、4 倍速度尝试。因为办到了，所以我们活了下来。GIGAPHOTON 的具体强项，我想就在这里了。

要发挥他人 3、4 倍的速度，要下哪些功夫？

应该是动头脑吧。在脑海中模拟，一面预测结果一面执行。时间不足以让我们尝试所有的方法，但我以为其中先以理智而非经验考虑事物进行预测，就能以他人未及的新作法提早求出正确答案。

此外，让技术人员能够大鸣大放，这点非常重要。虽然难，但是非做不可。要制作世上没有的东西，集合众人智慧很重要，倾听非经验者的意见也很重要。技术这东西很有趣，积累越多经验就增加更多知识，却也受到过去经验的限制。而前所未有的全新构思常会潜藏在没有经验的人们纯真的发言当中。我说的就是要活用这方面。就这方面来说，经验较浅的年轻人亦有其存在价值。

接下来，GAPHOTON 最想对客户宣扬的是什么？

希望宣扬 GIGAPHOTON 是研发独家技术完成最佳 HVM 用产品的专业厂商。我深信这样的精神，即使跨足不同的激光应用领域，也必将成功。