G20K

支持 0.18μm 设计规则的
2 kHz ArF 准分子激光机

G20K

G20K 以能量安定性 ±0.4 %、半值振幅 0.6 pm 以下的狭隘光谱线宽,支持 0.18 μm 节点光刻的高分辨率。

主要特色

  • 发射频率由 G10K 的 1000 Hz 改进至 2000 Hz,达到高产量需求
  • 大幅提升激射发射稳定性与模块耐久性,达到进一步减低 CoO(每次脉冲的运行成本)的目的
  • 包装箱更加精致,与 G10K 相比,安装所需面积缩小 14 %
  • 全新设计的固态脉冲电源模块,减少 20 % 耗电量

主要规格*

发射波长 248 nm
平均输出功率 20 W
脉冲能量 10.0 mj
发射频率 2,000 Hz
光谱幅度(FWHM) 0.6 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 2.0 pm
累计能量安定性 0.4 %
(*) 上述各规格值为代表值