GIGANEX系列新产品、下一代微细加工用300W KrF激光器。高输出、高可靠性且可减少COO的机型
KrF激光器“G300K”是加入GIGANEX产品阵容的一款新机型，它将微细等“加工优化”作为理念，在保持高输出、99%以上高开工率的同时，实现了客户ROI的最大化的型号。“G300K”采用累计出货量达900多台的本公司半导体光刻用KrF光源G41K作为基本平台，新开发并搭载了最适合高输出的电源、激光腔室。从而为客户在半导体制造后端工序中下一代微细加工工序，通过提高生产性及减少COO以实现ROI的最大化提供帮助。
主要特点
高重复频率、高输出功率
作为加工用KrF激光器，“G300K”实现了唯一的4000Hz高重复频率、300W高输出功率。可以在传统UV激光器无法实现的区域进行各种微细烧蚀加工。
高开工率
作为半导体光刻KrF光源，“G300K”保持着具有900多台出货量的G41K的可靠性，实现超过99%的高开工率。
长寿命
具有可承受半导体制造光源所培养的生产性的模块寿命，同时拥有较长的维护周期，从而为客户提高成品率并降低维护成本提供帮助。
主要规格
| 规格项目 | 值* | |
|---|---|---|
| 振荡波长 | 248 nm | |
| 平均输出 | 75W | 300W |
| 脉冲能量 | 75mJ | 75mJ |
| 振荡频率 | 1000Hz | 4000Hz |
| 用途 | 下一代微细烧蚀加工 | |
