采用GT65A最先进技术、通过高功能扩展性进一步提高生产率（晶圆输出）
GT45A是一款基于最先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。
通过搭载最新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。
通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。
特色
延长模块寿命
标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率，提高生产率。
高功能扩展性
可以搭载GT65A可使用的功能和技术。
- 通过提高光谱宽度稳定性来改善CD均匀性
- 通过光谱宽度可变技术校正不同世代曝光机的对比度性能差异
- 通过发射频率6kHz和最高可达90W的高输出功率，进一步提高生产率（吞吐量）
- 基于sMonitoring的数据采集、监测及分析
主要规格
| 规格项目 | 值* |
|---|---|
| 发射波长 | 193 nm |
| 平均输出功率 | 45 – 90 W |
| 脉冲能量 | 11.25 – 15 mJ |
| 发射频率 | 4,000 – 6,000 Hz |
| 光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,） | ≤0.5 pm |
