ArF Immersion

ArF Dry

Data Products


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png" alt="G41A" class="wp-image-7664" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="支持-100nm-技术节点的-4-khz-arf-准分子激光机">支持 100nm 技术节点的 4 kHz ArF 准分子激光机</h2>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要特色">主要特色</h3>



<ul><li>全新设计的固体脉冲电源，可发射频率 4000 Hz 的激射光，达到 20W 的高产</li><li>继承 GIGAPHOTON KrF 激射（G10K/G20K 系列）的高可靠性设计</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要规格"><strong>主要规格</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>规格项目</th><th><strong>值</strong><sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>发射波长</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均输出功率</td><td>20 W</td></tr><tr><td>脉冲能量</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>发射频率</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>光谱线宽（FWHM）</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>光谱幅度（以 95 %能量累计，E95）</td><td>0.85 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各规格值为代表值</figcaption></figure>
</div></div>


G41A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png" alt="GT45A" class="wp-image-7624" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="采用gt65a最先进技术-通过高功能扩展性进一步提高生产率-晶圆输出">采用GT65A最先进技术、通过高功能扩展性进一步提高生产率（晶圆输出）</h2>



<p>GT45A是一款基于最先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。<br>通过搭载最新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。<br>通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="特色">特色</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="延长模块寿命标配gt65a引入且经过验证的模块寿命延长技术-有助于降低维护频率-提高生产率">延长模块寿命</h4>



<p id="延长模块寿命标配gt65a引入且经过验证的模块寿命延长技术-有助于降低维护频率-提高生产率">标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率，提高生产率。</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="高功能扩展性">高功能扩展性</h4>



<p>可以搭载GT65A可使用的功能和技术。</p>



<ul><li>通过提高光谱宽度稳定性来改善CD均匀性</li><li>通过光谱宽度可变技术校正不同世代曝光机的对比度性能差异</li><li>通过发射频率6kHz和最高可达90W的高输出功率，进一步提高生产率（吞吐量）</li><li>基于sMonitoring的数据采集、监测及分析</li></ul>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要规格">主要规格</h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>规格项目</th><th><strong>值</strong><sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>发射波长</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均输出功率</td><td>45 &#8211; 90 W</td></tr><tr><td>脉冲能量</td><td>11.25 &#8211; 15 mJ</td></tr><tr><td>发射频率</td><td>4,000 &#8211; 6,000 Hz</td></tr><tr><td>光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）</td><td>≤0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各规格值为代表值</figcaption></figure>
</div></div>


GT45A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png" alt="GT40A" class="wp-image-7623" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="支持-65nm-或更新技术节点的新产品-4-khz-arf-准分子激光机品">支持 65nm 或更新技术节点的新产品－－4 kHz ArF 准分子激光机品</h2>



<p>本装置为世界首创采用注入锁定技术的曝光装置用光源机型，让以往认为两难的狭隘光谱与高输出功率得以并存。且因发射低峰值脉冲能量减轻对光学系统的伤害，所控制的运行成本达到业界顶尖等级。此外，除搭载新开发的高级自我诊断功能（self diagnosis）外，还大幅改善模块更换性等服务性，达成高可靠性、高劳动效率。ます。</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="gt40a的特色">GT40A的特色</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="注入锁定-injection-locked-激射">注入锁定（Injection-locked）激射</h4>



<p>领先业界首次将<em>注入锁定</em>技术(*)引进量产机型，可达 45 W 的高输出功率，能高稳定发射半宽度达 0.2 pm、E95 达 0.5 pm 的光谱线宽 DUV 激射光，为业界顶级水平。并且实现了低峰值脉冲能量，减轻了对激射以及曝光装置光学系统的伤害。</p>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td><strong>注入锁定</strong>技术是将调整为极窄光谱宽度发射的低功率激射光（Master），注入高输出功率的激射共振器（Amplifier），经过激射共振增幅，令以往认为难以同时实现的狭隘频谱与高输出功率得以并存的技术。</td></tr></tbody></table></figure>



<h4 class="wp-block-heading" id="业界顶级的低运行成本">业界顶级的低运行成本</h4>



<p>注入锁定技术能减少对激射光学零件的负担，更因系统结构精致化，大幅减低耗材（模块）的种类及更换频率。以结果而言，实现了业界顶级的低运行成本。ストを実現しています。</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="高可靠性-高运转性设计"><strong><strong>高可靠性、高运转性设计</strong></strong></h4>



<p>除了新开发的高级自我诊断功能（self diagnosis）外，更大幅改善模块更换性等服务性，达到半导体工厂所需的高可靠性、高劳动效率。</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要规格"><strong><strong>主要规格</strong></strong></h3>
</div></div>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>规格项目</th><th><strong>值</strong><sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>长</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均输出功率</td><td>45 W</td></tr><tr><td>脉冲能量</td><td>11.25 mj</td></tr><tr><td>发射频率</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>光谱线宽（FWHM）</td><td>0.2 pm</td></tr><tr><td>光谱幅度（以 95 %能量累计，E95）</td><td>0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各规格值为代表值</figcaption></figure>


GT40A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png" alt="G42A" class="wp-image-7658" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="支持-80nm-技术节点的-4-khz-arf准分子激光机">支持 80nm 技术节点的 4 kHz ArF准分子激光机</h2>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要特色">主要特色</h3>



<ul><li>以 G41A 机型为基础，改良光谱宽度（半高宽），将 G41A 的 0.35 pm 改进至 0.3 pm，可支持 80nm 设计节点</li><li>各模块采用高耐久性零件延长使用寿命，大幅减低 CoO</li><li>激射共振腔：电极处采用高耐久性零件</li><li>窄带宽化模块、监视器模块等：光学零件采用高耐久性材料</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要规格"><strong>主要规格</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>规格项目</th><th><strong>值</strong>*</th></tr></thead><tbody><tr><td>发射波长</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均输出功率</td><td>20 W</td></tr><tr><td>脉冲能量</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>发射频率</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>光谱线宽（FWHM）</td><td>0.3 pm</td></tr><tr><td>光谱幅度（以 95 %能量累计，E95）</td><td>0.75 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各规格值为代表值</figcaption></figure>
</div></div>


G41AG41A

支持 100nm 技术节点的 4 kHz ArF 准分子激光机

主要特色

主要规格

Other ArF Dry

GT45A

GT40A

G42A

规格项目	值^*
发射波长	193 nm
平均输出功率	20 W
脉冲能量	5.0 mJ
发射频率	4,000 Hz
光谱线宽（FWHM）	0.35 pm
光谱幅度（以 95 %能量累计，E95）	0.85 pm