ArF Immersion

ArF Dry

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<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="591" height="591" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/1995/01/G20K.bmp" alt="" class="wp-image-10048" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/1995/01/G20K.bmp 591w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/1995/01/G20K-300x300.jpg 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/1995/01/G20K-150x150.jpg 150w" sizes="auto, (max-width: 591px) 100vw, 591px" /></figure>
</div>


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<p class="has-text-align-center wp-block-paragraph">本产品已停止接受新订单。</p>



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<h2 id="支援-130nm-以下技術節點的-4-khz-arf-準分子雷射裝置" class="wp-block-heading">支持 0.18μm 设计规则的2 kHz KrF 准分子激光机</h2>



<p class="wp-block-paragraph">G20K 以能量安定性 ±0.4 %、半值振幅 0.6 pm 以下的狭隘光谱线宽，支持 0.18 μm 节点光刻的高分辨率。</p>



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<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 id="主要規格" class="wp-block-heading"><strong>主要規格</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>規格項目</th><th>值<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>發射波長</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>平均輸出功率</td><td>20 W</td></tr><tr><td>脈衝能量</td><td>10.0 mj</td></tr><tr><td>發射頻率</td><td>2,000 Hz</td></tr><tr><td>譜頻幅度（FWHM）</td><td>0.6 pm</td></tr><tr><td>譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）</td><td>2.0 pm</td></tr><tr><td>累计能量安定性</td><td>0.4 %</td></tr></tbody></table><figcaption class="wp-element-caption">(*) 上述各規格值為代表值</figcaption></figure>
</div></div>


G20KG20K

支持 0.18μm 设计规则的2 kHz KrF 准分子激光机

主要規格

Other KrF

G300K

G60K

G45K

G41K-1H

G21K

G10K

規格項目	值^*
發射波長	248 nm
平均輸出功率	20 W
脈衝能量	10.0 mj
發射頻率	2,000 Hz
譜頻幅度（FWHM）	0.6 pm
譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）	2.0 pm
累计能量安定性	0.4 %