G10K

支持 0.25 μm~0.18 μm 设计规则的 1 kHz 准分子激光机

G10K

准分子激光机因使用氟气、高压放电、深紫外光等化学反应强烈的要素,如何同时实现稳定性与耐久性是最大的技术课题。而除了上述功能外,曝光用准分子激光机更要求出光的单色性及输出能量均衡性。

G10K 是首度解决上述难题的准分子激光机,自 1997 年推出以来,以其划时代性稳定运转与性能广受光刻光源市场的好评,目前仍活跃于生产现场。


主要特色

  • 稳定激发与高度耐久性,达到高劳动效率与经济性
  • 以独家 RF 预电离方式、全新开发的高电压脉冲电源,大幅改善发射稳定性并大幅提升耐久性能
  • 不但让各结构模块性能游刃有余,并以贯彻所有零件、制程的质量保证体制确保产品高度可靠性

主要规格*

发射波长 248 nm
平均输出功率 10 W
脉冲能量 10.0 mj
发射频率 1,000 Hz
光谱幅度(FWHM) 0.6 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 2.0 pm
累计能量安定性 0.5 %
(*) 上述各规格值为代表值