支持 0.18μm 设计规则的2 kHz ArF 准分子激光机

主要特色

  • 进一步提升饱受好评的 G20K 能量安定性
  • 改良窄带宽化光学系统,实现支持 0.13 µm 技术节点光刻制程的超缩带宽性能:光谱半值 0.5 pm

主要規格

規格項目*
發射波長248 nm
平均輸出功率20 W
脈衝能量10.0 mj
發射頻率2,000 Hz
譜頻幅度(FWHM)0.5 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95)1.4 pm
累计能量安定性0.35 %
(*) 上述各規格值為代表值