G21K

支持 0.13μm 设计规则的 2 kHz ArF 准分子激光机

G20K

主要特色

  • 进一步提升饱受好评的 G20K 能量安定性
  • 改良窄带宽化光学系统,实现支持 0.13 µm 技术节点光刻制程的超缩带宽性能:光谱半值 0.5 pm

主要规格*

发射波长 248 nm
平均输出功率 20 W
脉冲能量 10.0 mj
发射频率 2,000 Hz
光谱幅度(FWHM) 0.5 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 1.4 pm
累计能量安定性 0.35 %
(*) 上述各规格值为代表值