歴史

ギガフォトン株式会社は、2000年に設立された比較的若い会社ですが、コマツが培ってきたレーザ製品技術開発における長年の経験と実績を継承しています。

コマツのレーザ技術の歴史は、エンジンの燃焼診断にCARS(Coherent Anti-Stokes RamanSpectroscopy:色素レーザ=Dye Laser)を用いたシステムを発売した、1980年までさかのぼります。これ以降、コマツはエキシマレーザの研究開発に移行し、1985年には日本初のエキシマレーザ装置KLE-630を発売、1987年には世界初の露光用エキシマレーザKLE-630Sを発売しました。

東京大学物性研とコマツでKrF,90Hzエキシマレーザを共同開発

1984年 東京大学物性研とコマツで
KrF,90Hzエキシマレーザを共同開発
(出典: 日本工業新聞)

コマツは1996年にエキシマレーザ事業部を発足後、1997年には栃木県小山市にエキシマレーザ生産 工場を設立。同年に量産型1 kHz KrFエキシマレーザ KLES-G10K(現G10Kシリーズ)を発売しました。1998年には、2 kHz KrFエキシマレーザ G20Kシリーズを発売し、日本・アジア地域を中心に順調にシェアを伸ばしました。

2000年にギガフォトン株式会社を設立し、2001年に4 kHz ArFエキシマレーザG40Aシリーズ、2002年に4 kHz KrFエキシマレーザG40Kシリーズを発売しました。

2004年末には液浸ArF露光に対応するインジェクションロック方式ArFエキシマレーザGT40Aを発売し、 2005年には発振周波数が1.5倍の6,000 HzとなるGT60A、2006年にはスペクトル幅及び運用コストを大幅に改善したGT61A、2007年には液浸二重露光に対応した90ワットの出力となるGT62Aと次々と新商品を発売しております。

次世代リソグラフィ光源として期待されているEUV光源の開発においては「技術研究組合極端紫外線 露光システム技術開発機構(Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association; EUVA)」に参加し、LPP方式の技術発展に大きく貢献しました。

エキシマレーザ技術の歴史とギガフォトンの沿革(年表)


  • 世界で初めてエキシマレーザ発振に成功(ソ連)

  • コマツ、CARS(Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy)を応用したエンジン燃焼診断システム発売

  • コマツ、KrFエキシマレーザKLE-630(日本初のエキシマレーザ装置)発売

  • コマツ、KLE-630S(2 W):世界初の露光用KrFエキシマレーザ発売

  • Lambda Physik社が露光用エキシマレーザ市場に参入

  • Cymer社が露光用エキシマレーザ市場に参入

  • コマツ、エキシマレーザ事業部発足

  • コマツ、エキシマレーザ生産工場を小山に設立

  • ギガフォトン株式会社設立

  • ギガフォトン、米国子会社「GIGAPHOTON USA INC.」を設立

  • ギガフォトン、第1回レーザ学会産業賞のシステム部門でインジェクションロックArFエキシマレーザGT62Aが「優秀賞」受賞

  • ギガフォトン、EUV光源で出力100W超を達成

  • ギガフォトン、100%出資のオランダ現地法人「GIGAPHOTON EUROPE B.V.」の
    事業活動を開始

    ギガフォトン、露光用エキシマレーザ累計1,000台の出荷を達成

  • ギガフォトン、100%出資の韓国現地法人「GIGAPHOTON KOREA INC.」の事業活動を開始

    ギガフォトン、100%出資の台湾現地法人「GIGAPHOTON TAIWAN INC.」の事業活動を開始

  • ギガフォトン、シンガポール支店を設立、事業開始