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<p>栃木県小山市；2025年3月7日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 榎波龍雄）は、2025年3月26日(水)から28日(金)（現地時間）にかけて上海新国際博覧中心（中国・上海市）にて開催される、「FPD China 2025」に出展します。（FPD China 2025は、SEMICON China 2025と同時期に同会場で開催されます。）</p>



<p>SEMICON ChinaとFPD Chinaは、電子製造業界の最新技術とソリューションを展示する国際的な展示会です。ギガフォトンからは露光用DUV光源に関する内容を出展いたします。</p>



<p>皆様のご参加をお待ちしております。</p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td><a>イベント名</a></td><td>FPD China 2025</td></tr><tr><td>WebサイトURL</td><td><a href="https://www.fpdchina.org/">https://www.fpdchina.org/</a></td></tr><tr><td>開催期間</td><td>2025年3月26日(水)～28日(金)</td></tr><tr><td>会場</td><td>上海新国際見本市会場（中国・上海市）</td></tr><tr><td>ブースNo.</td><td>N1158</td></tr></tbody></table></figure>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>友永竹彦<br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>



<p></p>


ギガフォトン、FPD China 2025に出展


<p>栃木県小山市；2025年2月13日、半導体<a>リソグラフィ用光源メーカー</a>である<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 榎波龍雄）は、2025年2月23日（日）から27日（木）（アメリカ時間）にかけてカリフォルニア州サンノゼにて開催される、半導体露光技術に関する世界最大の学会「<a href="https://spie.org/conferences-and-exhibitions/advanced-lithography-and-patterning">SPIE Advanced Lithography + Patterning 2025</a>」に参加し、論文発表を行います。</p>



<p>ギガフォトンは、歩留まり向上に寄与する次世代ArF液浸用光源開発、サステナビリティ関連技術、そしてDUV光源技術の稼働率改善に関する発表を行います。また、検査用EUV光源および先端パッケージ向けDUV光源に関する技術の最新状況についても発表いたします。</p>



<p>（上記発表に関するお問い合わせについては、ギガフォトンまでご連絡ください。）</p>



<p>・ギガフォトン　SPIE発表</p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>1) <strong>Improvements of the ArFi scanner throughput and process yield through a next generation lightsource featuring high-repetition rate and enhanced speckle contrast</strong> &nbsp;[Paper: 13424-84]</td></tr><tr><td><strong>2) Enhancement on productivity and sustainability with the world’s first 6 kHz KrF lightsource G65K [Paper: 13424-61]</strong></td></tr><tr><td>3) <strong>Improvement of LWR/LER in ArFi lithography by co-optimization of resist formulation and laser E95</strong> [Paper: 13424-79]</td></tr><tr><td>4) <strong>Challenges associated with increasing the excimer lightsource&#8217;s repetition rate above 7kHz to support scanner productivity </strong>[Paper: 13424-37]</td></tr><tr><td>5) <strong>Development of LPP-EUV light source for mask inspection systems</strong> [Paper: 13424-59]</td></tr><tr><td>6) <strong>Simultaneous multi-point glass processing using diffractive optical element and KrF excimer laser</strong> [Paper: 13424-55]</td></tr></tbody></table></figure>



<p class="has-text-align-right">以上</p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>友永竹彦<br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>



<p></p>


ギガフォトン、半導体露光技術最大の学会「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2025」にて論文発表


<p>栃木県小山市；2024年12月4日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 榎波龍雄）は、2024年12月4日付でNEDO（国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構）と共同でニュースリリースを発表しました。</p>



<p>ギガフォトンは、NEDOのプロジェクト「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」に参画し、今回、その成果がNEDOよりニュースリリースとして発表されました。</p>



<p>リリースはNEDOウェブサイトからご覧いただけます。下記リンクよりぜひご一読ください。<br><br><a href="https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101796.html">https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101796.html</a></p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>大石憲司<br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>


NEDO（国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構）、ギガフォトン参画のプロジェクト成果を発表


<p>栃木県小山市；2024年11月8日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、最先端半導体パッケージ加工向けエキシマレーザーを日本の装置メーカー向けに納入し、その装置が米国に設置されたと発表しました。</p>


<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full is-resized"><img loading="lazy" decoding="async" width="1986" height="1117" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/11/G300K.jpg" alt="" class="wp-image-9211" style="width:600px" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/11/G300K.jpg 1986w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/11/G300K-300x169.jpg 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/11/G300K-1024x576.jpg 1024w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/11/G300K-768x432.jpg 768w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/11/G300K-1536x864.jpg 1536w" sizes="auto, (max-width: 1986px) 100vw, 1986px" /></figure></div>


<p class="has-text-align-center">最先端半導体パッケージ加工用光源「G300K」</p>



<p>ギガフォトンでは従来培ってきた半導体リソグラフィ用光源の技術を応用し、半導体後工程用の最先端半導体パッケージ加工用光源を開発してまいりました。</p>



<p>最新ラインナップG300Kは、半導体パッケージサブストレートの加工用装置に接続されるKrF（248nm）のエキシマレーザーであり、高出力、高繰り返し、高稼働率、長寿命を実現しています。エキシマレーザーを使用した加工は、主に直径10μm以下の微細な穴あけやトレンチ加工を目的としており、今後サーバー向けを中心に増加が見込まれるチップレットを用いた最先端半導体パッケージの製造へ採用されることが期待されています。</p>



<p>ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの榎波龍雄氏は、こう述べています。「ギガフォトンでは半導体リソグラフィ用光源の研究開発を行う傍ら、新たな分野におけるエキシマレーザーの用途についても様々な可能性を探究してきました。今後も新たな分野への進出に向けて、研究開発を加速させていきます。</p>



<p>今後も半導体製造に不可欠な光源メーカーとして、エキシマレーザーが広く普及するよう、新たなプロセスの研究および開発を進めることで、産業界に貢献してまいります。」</p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部　大石憲司<br><br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>


ギガフォトン、先端半導体パッケージ用加工向けエキシマレーザーを米国に設置


<p>栃木県小山市；2024年9月30日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長:榎波龍雄）は、2024年12月11日（水）から13日（金）にかけて東京ビッグサイトにて開催される、<a href="https://www.semiconjapan.org/jp/apcs" data-type="link" data-id="https://www.semiconjapan.org/jp/apcs">「Advanced Packaging and Chiplet Summit 2024」</a>に出展いたします。</p>



<p>ギガフォトンからは、最新の試験結果も含めた、当社の微細アブレーション加工用製品の紹介を行います。</p>



<p>皆様のお越しをお待ちしております。</p>



<p class="has-text-align-center">記</p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>イベント名</td><td>Advanced Packaging and Chiplet Summit 2024</td></tr><tr><td>イベントURL</td><td><a href="https://www.semiconjapan.org/jp/apcs">https://www.semiconjapan.org/jp/apcs</a></td></tr><tr><td>開催期間</td><td>2024年12月11日（水）～13日（金）</td></tr><tr><td>会場</td><td>東京ビッグサイト（東京都）<br>〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1</td></tr><tr><td>出展ブースNo.</td><td>2555</td></tr></tbody></table></figure>



<p class="has-text-align-right">以上</p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>大石憲司<br><br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>



<p></p>


ギガフォトン、Advanced Packaging and Chiplet Summit 2024に出展


<p class="has-text-align-center">エリア内サポートキャパシティを従来の約3倍に拡大</p>



<p>栃木県小山市；2024年7月3日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、サポート体制強化のため、九州事務所の移転を決定し、本日、地鎮祭を実施したと発表しました。</p>


<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="605" height="290" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/06/image-2.png" alt="外観完成予想図" class="wp-image-9120" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/06/image-2.png 605w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/06/image-2-300x144.png 300w" sizes="auto, (max-width: 605px) 100vw, 605px" /></figure></div>


<p class="has-text-align-center">外観完成予想図</p>



<p>ギガフォトンでは九州地域において、2000年にサポートオフィスを開設して以来、お客さまのサポートを行ってきました。近年、九州地域における半導体産業の投資が拡大していることを受け、サポート体制の更なる強化のため、九州事務所移転を決定しました。</p>



<p>新九州事務所は2階建、総延床面積1,112.66㎡の建物で、2025年6月竣工予定です。本建屋の完成により、エリア内の対応キャパシティを現在の約3倍に拡大します。</p>



<p>ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの榎波龍雄氏は、こう述べています。「半導体産業が拡大する中、より迅速かつ正確なサポート体制を構築することが、ギガフォトンの責務です。今年は日本に留まらず、米・アリゾナ州、中国・青島に事務所を新設し、市場の稼働率上昇局面に先立ち、サポート体制強化を実施しています。ギガフォトンはこれからも、確実で高品質なフィールドサービスの提供により、半導体産業の拡大に貢献してまいります。」</p>



<p class="has-text-align-center">記</p>



<p>建物概要<br>建築地　　：　熊本県菊地郡大津町大字室<br>構造・規模：　鉄骨造　地上2階建<br>敷地面積　：　1,937.15㎡（585.9坪）<br>延床面積　：　1,112.66㎡（336.5坪）</p>



<p class="has-text-align-right">以上</p>



<figure class="wp-block-table"><table><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社　経営企画部　大石憲司<br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>


ギガフォトン、サポート体制強化のため九州事務所の移転を決定


<p class="has-text-align-center">労働、安全衛生、環境、倫理、管理システムの各側面で最高ランクの評価</p>



<p>栃木県小山市；2024年6月17日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、RBA<sup>*</sup>のVAP（Validated Assessment Program）監査で、最上位であるプラチナ・ステータスを獲得したことを発表しました。</p>


<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="531" height="396" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/06/image.png" alt="" class="wp-image-9081" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/06/image.png 531w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/06/image-300x224.png 300w" sizes="auto, (max-width: 531px) 100vw, 531px" /></figure></div>


<p>RBAが提供するValidated Assessment Program (VAP) は、実地でのコンプライアンス検証と、独立した第三者機関によって実施される、RBA行動規範に対する企業の果たすべき責任を評価するプログラムです。</p>



<p>このたび、RBAのVAP監査の結果、ギガフォトンは満点となる200点のスコアを記録し、再上位ランクであるプラチナ・ステータスを獲得しました。これは、労働、安全衛生、環境、倫理、管理システムの各側面において、ギガフォトンが高い水準を満たしていることを客観的に示すものです。</p>



<p>ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの榎波龍雄氏は、こう述べています。「今回のRBA VAP監査におけるプラチナ・ステータス獲得を誇りに思います。ギガフォトンはこれからも半導体産業に対する供給責任を確実に果たしていくため、サプライチェーン全体でのESG経営を推進し、企業体質を強化してまいります。」</p>



<p><sub>*RBA(Responsible Business Alliance): 電子機器(エレクトロニクス)業界のサプライチェーンにおける労働環境の安全性や労働者の権利を支援することを目的とした企業連盟</sub></p>



<figure class="wp-block-table"><table><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>大石憲司<br><br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>


ギガフォトン、RBA VAP監査でプラチナ・ステータスを獲得


<p>2024年（令和6年）4月3日に発生しました、台湾東部沖を震源地とする地震によりお亡くなりになられた方のご冥福をお祈りいたしますとともに、被災された皆さま、そのご家族の方々に対しまして、心よりお見舞い申し上げます。一日も早い復旧復興をお祈り申し上げます。</p>



<p>当社子会社であり、台湾・新竹に本社を置き、4拠点を展開する極光先進雷射股份有限公司（英：Gigaphoton Taiwan Inc.）の従業員およびカスタマーサービスへの影響は現時点ではありません。</p>



<p>現時点で確認できている当社の状況は以下の通りです。</p>



<ol class="wp-block-list">
<li>社員の状況<br>本日までに、台湾で勤務している当社グループ全従業員の無事を確認しました。</li>



<li>社屋の状況<br>台湾にて展開している全4拠点の状態確認を行い、すべての社屋において通常通り使用できることを確認しました。</li>



<li>サービス体制<br>サービス体制は通常通り操業可能なことを確認しました。</li>



<li>保管部品<br>現地4拠点の各倉庫にて保管している部品の在庫は問題なく、お客さまのサポートに影響はありません。</li>



<li>物流<br>現時点において、部品供給のための物流状況について問題ないことを確認しました。</li>



<li>サプライチェーン<br>当社サプライチェーンに対する今回の地震の影響はありません。</li>
</ol>



<figure class="wp-block-table"><table><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>大石憲司<br><br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com" target="_blank" rel="noreferrer noopener">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>


台湾東部沖地震の当社への影響に関するお知らせ


<p class="has-text-align-center">Intelグローバルサプライチェーン全体でDistinguished Awardを受賞した29社のうちの1社に選出</p>



<p>（本リリースは英文の抄訳となります。 / This press release is an abridged translation of the English one.）</p>



<p>ギガフォトン株式会社は、2024年3月29日、IntelのEPIC（卓越、パートナーシップ、包含、連続改善）Distinguished Supplier Awardを受賞したことを誇りに思います。ギガフォトンは、卓越した品質改善に取り組むことを通じて、Intelの期待を常に上回るパフォーマンスを達成してきました。</p>


<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="684" height="383" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/image-3.png" alt="" class="wp-image-9010" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/image-3.png 684w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/image-3-300x168.png 300w" sizes="auto, (max-width: 684px) 100vw, 684px" /></figure></div>


<p>Intelの最高グローバルオペレーション責任者であるKeyvan Esfarjani氏は、「2024年に受賞した29の優秀サプライヤーの1つとして、ギガフォトンはIntelの信頼されるサプライチェーンの中で際立っています。彼らの改善への執念から、Intelの期待を常に上回るパフォーマンスを達成し、エコシステム全体において基準となっています」と述べました。</p>



<p>IntelのEPIC優秀サプライヤー賞は、すべてのパフォーマンス基準で一貫した高いパフォーマンスを認めるものです。世界中の数千のIntelサプライヤーの中で、EPICサプライヤープログラムへの参加資格を得るのはわずか数百社です。EPIC Distinguished Awardは、サプライヤーが達成できる2番目に高い栄誉です。2024年には、Intelのサプライチェーンネットワーク内でわずか29のサプライヤーがこの賞を受賞しました。</p>



<p>IntelのEPIC Distinguished Awardを受賞するためには、サプライヤーは期待を上回り、高いパフォーマンス目標を達成し、年間を通じてパフォーマンス評価で80％以上のスコアを獲得する必要があります。サプライヤーはまた、改善計画の成果物の80％以上を達成し、堅牢な品質およびビジネスシステムを示さなければなりません。</p>



<p><strong>Intel EPIC Supplier Awardsの詳細について</strong></p>



<p>Intel Newsroomの最新投稿をご覧ください：<br>&lt;LINK TO: <a href="https://www.intel.com/content/www/us/en/newsroom/news/intel-announces-2024-epic-supplier-program-award-recipients.html">https://www.intel.com/content/www/us/en/newsroom/news/intel-announces-2024-epic-supplier-program-award-recipients.html</a>&gt;</p>



<p>Intel EPIC Supplier Awards pageもぜひご覧ください：<br>&lt;LINK TO: <a href="https://www.intel.com/content/www/us/en/supplier/governance/quality/epic.html">https://www.intel.com/content/www/us/en/supplier/governance/quality/epic.html</a>&gt;</p>



<p><strong>ギガフォトンについて</strong></p>



<p>2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細については<a href="http://www.gigaphoton.com/ja/">www.gigaphoton.com</a>をご覧ください。</p>



<figure class="wp-block-table"><table><tbody><tr><td>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>大石憲司<br><br>Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a></td></tr></tbody></table></figure>


ギガフォトン、Intel 2024 EPIC Distinguished Supplier Awardを受賞


<p class="has-text-align-center">最先端ノード量産での高い生産性をサポート</p>



<p>栃木県小山市；2024年3月27日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="http://gigaphoton.com/">ギガフォトン株式会社</a>（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、新型ArF液浸露光装置用光源「GT80A」を出荷したと発表しました。</p>


<div class="wp-block-image">
<figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="472" height="383" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/image.png" alt="" class="wp-image-8975" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/image.png 472w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2024/03/image-300x243.png 300w" sizes="auto, (max-width: 472px) 100vw, 472px" /></figure></div>


<p>最先端デバイス製造においては、微細化と共に高い生産性が求められています。これらの最先端デバイスでは、ウエハに転写される露光パターン、特にEPEに対する要求が求められると同時に、高い生産性を両立する必要があります。</p>



<p>その中で、光源に対して、EPEに直接的影響を及ぼすCD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)低減を実現することにより、量産現場でのイールド向上を実現すると共に、さらなる高生産性を提供することが求められます。</p>



<p>新型ArF液浸光源「GT80A」は、新開発モジュールにより、発振周波数を12.5%向上させることに成功しました。これにより、スペックルコントラストをGT65A比で36％低減し、LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)をさらに低減することに貢献します。プロセスイールドのさらなる改善を実現すると同時に、最先端ノード量産での高い生産性をサポートします。</p>



<p>ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏は、こう述べています。「GT80Aは、最先端半導体の安定的で歩留まりのよい生産をゴールに、特に最先端のプロセスノードの生産性向上のため市場に投入されました。ギガフォトンは、半導体市場のリソグラフィにおける更なるイノベーションのため、今後も活動し続けます。」</p>



<figure class="wp-block-table"><table><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口：　<br>ギガフォトン株式会社<br>経営企画部<br>大石憲司<br><br>Eメール: web_info@gigaphoton.com</td></tr></tbody></table></figure>


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