Quality&ReliabilityQuality&Reliability

KAIZENによる完璧な品質を追求

ギガフォトンは『品質と信頼性を向上し顧客満足度を高めること』を目標として企業活動を推進しています。また、ギガフォトンの生産部では、世界最高品質のエキシマレーザを、お客様にタイムリーに出荷できるよう、常に全員参加のKAIZEN活動を推進し、品質管理の徹底に努めています。

Komatsu Wayを伝承

ギガフォトンのレーザは2019年の現在で約50%の世界シェアを達成しました。これはギガフォトン製品の高い信頼性が最先端半導体製造ラインでの厳しい量産環境で実証された成果と言えます。ギガフォトンのレーザが高い信頼性を実現できた背景には、そのルーツであるコマツの「Komatsu Way」精神を引き継ぎ、市場のニーズに迅速に対応する商品開発力と生産技術力、従業員の市場に対する強い品質意識と絶え間のない品質改善活動があります。

最先端工場

ギガフォトンのレーザは、本社に隣接する小山工場で専用のClass 5から8(ISO 14644-1 クリーンルーム規格)又はClass 100 から100,000(US FED STD 209Eクリーンルーム規格)のクリーンルーム工場で生産しています。ギガフォトンの生産部は、最先端の情報技術と高度な生産技術が融合し、全員参 加の品質管理(QC)活動「KAIZEN」を推進し、最先端エキシマレーザの高生産性を実現しています。また、工場で働く従業員はもとより近隣の住民の皆 様が安心して生活できる環境を保証するために、最先端の環境管理を実施しております。

組み立て

組立部門では、各モジュールの特性に合わせて、ライン生産1)とセル生産方式2)を使い分けています。ArFレーザとKrFレーザのフレームは、ライン生産方式で組み立てられます。チャンバは、クリーンルーム内に設けた、更にクリーン度の高いブース内で組み立てられます。組み立て作業は、全て熟練スタッフが電子マニュアルに従って実施することで高品質を保証しています。重要な管理指標は、品質管理システムに全数記録されます。

検査

組み立て後の検査は、全てセル生産方式で実施されます。また、一人のスタッフが複数のセルを担当します。自動検査装置を採用していることで、週7日間毎日24時間の自動検査が可能になり、製造リードタイムの短縮と生産性の向上を実現しています。