TechnologyTechnology

実績を誇る技術

2000年の設立以来、ギガフォトンは独自の「レーザ技術」と「光計測技術」を生かし、高性能なリソグラフィ用の光源を広く半導体業界に提供し、お客様に貢献をしてきました。私たちギガフォトンは常に、お客様の課題解決に最優先で取り組んでいます。進歩の早い半導体業界において評価をいただくための手段が、「課題解決型技術の創造と実現」であると考えるからです。

コア技術について

ギガフォトンは、常にお客様の問題解決に取り組むことを最優先しています。進化し続ける半導体業界において、「課題・解決型技術の創造と実践」こそが、お客様のニーズに応える唯一の答えであると考えています。フォトリソグラフィの革新を推進するため、積極的なトータルデザイン発想のもと、当社のコア技術である「レーザー技術」と「光計測技術」を中心に、お客様にさらなる貢献をしていきたいと考えています。

Giga Twin™プラットフォーム

当社では、ArFレーザの高出力パワーへの要求に応えるべく、インジェクションロック方式を採用した、GigaTwin プラットフォームをブレークスルー技術として開発しました。この方式はレーザ装置中に2台のチャンバ(ツインチャンバ)を配置し、それぞれのチャンバに光 共振器を搭載し、一つのチャンバからは低出力の狭いスペクトルの光を発生させ、もう一つのチャンバにおいてそのレーザ光を増幅するものです。当社における インジェクションロック技術の開発は1990年代までさかのぼり、1993から1994年には通産省大型プロジェクトにおいて、200 Hz、300 WのArFレーザの技術を開発しました。

グリーン・テクノロジー

ギガフォトンは、近年の業界の懸念事項である、ネオンガス・ヘリウムガスの供給量の減少と価格の高騰、および世界規模での急激な電力使用量の増加に対応するため、独自のエコフォトンプログラムに沿って、積極的にグリーンイノベーション技術を提供してきました。2013年にはヘリウムガスを窒素に置き換えることでヘリウムガスの使用量を99%削減できる技術を、2014年にはネオンガス消費量を最大50%削減できる「eTGM」技術を開発しました。また、2015年にリリースした「eGRYCOS」技術では、レーザ放電効率を20%向上させることにより、レーザ性能を維持しながら消費電力15%の削減が可能となりました。

ソフトウェア技術

私たちは、オープンでコラボレーティブなソフトウェアシステムの強力な支持者です。Fabscape®で私たちは、ファブ装置を監視、管理、分析するためのユニークで高度にカスタマイズ可能なオープンプラットフォームをお客様に提供します。Fabscape®は、ギガフォトン製品だけでなく、カスタマイズすることであらゆるベンダーの装置で使用することができます。