ギガフォトン新レーザーモニタリング・ソリューション「REDeeM Cloud」を発表

オープンイノベーションの土台となるアプリケーション・プラットフォームを提供

栃木県小山市; 2015年7月8日—リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、同社の半導体露光装置用エキシマレーザーの遠隔稼働モニタリングを行う、オープンイノベーション対応の新ツール「REDeeM Cloud」を発表しました。REDeeM Cloudは、最新のWeb技術を活用することにより、高い拡張性とカスタマイズ性を実現し、個々のユーザーのニーズに合わせたモニタリング機能を提供します。

ギガフォトンのレーザーはREDeeM Cloud の前身、「REDeeM」において大幅なダウンタイム短縮を実現し、平均99.8%という非常に高い稼働率を達成しました。そして今日「ムーアの法則」を継続する半導体メーカーより更なるコストダウンと微細化が要求される中、レーザーには、プロセス性能とコストの最適化に対する今まで以上の貢献が期待されています。その実現のためには、 より詳細なレーザー稼働データのモニタリングや解析を可能とする、柔軟なアプリケーション・プラットフォームが必要です。REDeeM Cloudの導入により、レーザーの一般的な解析データはもちろん、様々なオプション機能やハードウェアと組み合わせることで、個々のユーザーのニーズに合わせた 表示・解析内容のカスタマイズが可能になります。

またREDeeM Cloudは、最新のWebアプリケーション技術とレスポンシブWebデザイン手法をベースに作られていることから、OS、デバイス、画面サイズなどに依存しない幅広い環境で動作します。標準のブラウザを使用して、一般のWebページを閲覧する感覚で、PCだけではなくタブレットやスマートフォンからでも簡単に使用することができます。

また、ギガフォトンが推進するオープンイノベーションの一環として、今後ユーザーやパートナーは、このREDeeM Cloudを活用して独自の拡張機能やユーザーインターフェースなどの開発ができるようになります。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこうコメントしています。「今後のソフトウェア開発のビジョンに向けてREDeeM Cloudの様に進化したソリューションで第一歩を踏み出せたことを大変嬉しく思います。今後このREDeeM Cloudを軸に様々なユーザーやパートナーとオープンイノベーションを通じた連携が加速され、半導体業界に貢献するソリューションを提供できると確信しています。」

REDeeM Cloudは、7月から順次お客様への提供を開始する予定です。

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。

ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを目指しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。


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