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May 24, 2019

Received the prize for the second time after ten years.
The evolution and development of R&D and practical application of the ArF excimer laser were highly evaluated.

Gigaphoton received the Excellence Award at the 11th Laser Society Industry Awards 2019 on April 1, 2019, for its “R&D and practical application of the ArF Immersion Lithography Laser GT6XA Series and optional units.” CTO Mizoguchi and four other directors of the laser development department attended the award ceremony held at Pacifico Yokohama Exhibition Hall on April 25. This is the second time to win the award after the first one at the 1st Laser Society Industry Awards in 2009.

The Laser Society Industry Awards are sponsored by The Laser Society of Japan. The Excellence Award, Encouragement Award, and Contribution Award are given to those who have made a significant contribution to the growth of domestic laser-related industries in developing, commercializing, and spreading products and technologies related to lasers. We are proud to announce that Gigaphoton won the highest prize, the Excellence Award. The product that won the award, namely the ArF Immersion Lithography Laser GT6XA Series and optional units, is the platform of the Injection-Lock ArF Excimer Laser GT62A which previously won the award, and has enabled the rapid progress and growth of our technologies over the last ten years. These technologies have been widely accepted by clients and industry, and we have captured a large market share. These facts were also highly evaluated by the Society and led to the prize.

Vice President & CTO, Hakaru Mizoguchi, commented as follows.
“Gigaphoton’s Injection-Lock ArF Excimer Laser was successfully commercialized in 2005 and broadly accepted in the market thanks to the GT62A which previously won the award. After receiving the prize, we successively improved the model of the GT series up to GT65A by 2018. Today, these products are used 24/7/365 as an essential main light source for cutting-edge lithography processes in semiconductor factories all over the world. Optional modules reflecting the needs of users are also widely popular.
I am delighted to receive this award because it reflects the popularity of the Semiconductor Lithography ArF Excimer Laser we developed and commercialized owing to its contribution to industry as a pioneer and our continuous efforts and progress in developing the GT series over the last decade.
I would like to take this opportunity to thank everyone from The Laser Society of Japan, the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI), and NEDO, as well as the personnel of Gigaphoton who have worked hard on the business, for their support. We look forward to contributing to global growth and industrial techniques by researching and developing innovative, revolutionary technologies, and excimer lasers in particular.”
 

At the award ceremony (from left): Executive officer Mr. Fujimoto, Vice president Mr. Mizoguchi, Executive officers Mr. Matsunaga and Mr. Bushida

Commemorative photo at the ceremony

[:ja]

2019年5月24日

10年ぶり、2回目 ArFエキシマレーザー研究開発と実用化の
進化と発展が認められて

   2019年4月1日、ギガフォトンは「ArF Immersion リソグラフィ用レーザーGT6XAシリーズおよび各種オプションユニット群の研究開発とその実用化」をテーマに、「2019年度 第11回レーザー学会産業賞 優秀賞」を受賞し、4月25日にパシフィコ横浜にて行われた授賞式に溝口CTOと歴代レーザー開発部長の4名が出席しました。ギガフォトンの同賞受賞は2009年の第1回に続き10年ぶり、2回目となります。

   レーザー学会産業賞は一般社団法人レーザー学会が主催するもので、レーザーに関する製品・技術の開発、実用化、普及などにおいて国内のレーザー関連産業の発展に貢献しうる優秀なものに対し、優秀賞・奨励賞・貢献賞がそれぞれあたえられ、ギガフォトンは最高位の優秀賞を受賞しました。受賞対象となった「ArF Immersion リソグラフィ用レーザーGT6XAシリーズおよびオプション群」は、前回受賞した「インジェクションロックArFエキシマレーザーGT62A」のプラットフォームであり、この10年間でギガフォトンの技術の急速な進化・発展を可能にしました。その結果、お客様を始めとする産業界に広く受け入れられ高シェアを獲得し、それらのことが学会からも評価され今回の受賞に繋がりました。

   代表取締役副社長兼CTO溝口計はこうコメントしています。
「ギガフォトンのインジェクションロック式ArFエキシマレーザーは、2005年に製品化に成功し、前回受賞したGT62Aでマーケットに広く受け入れられました。その後もGTシリーズは2018年までにGT65Aまでモデルチェンジを続け、今や世界中の半導体工場において先端リソグラフィ工程に必要不可欠な主力光源として365日24時間絶え間なく使われています。また、ユーザーのニーズを取り込んだオプションモジュールも多大な支持を頂いております。
今回の受賞は、我々が研究・実用化した半導体リソグラフィ用ArFエキシマレーザーが業界の中で先導的役割を担い貢献したことに加え、この10年間におよぶギガフォトンのGTシリーズへの絶え間ない開発努力とその成果に対して頂いたものと考えており、感謝に堪えません。
レーザー学会関係者の皆様、経済産業省、NEDOの皆様、および実務に携わってきたギガフォトン社員に、この場を借りて感謝を申し上げます。我々は今後もエキシマレーザーを軸に、さらにユニークで画期的な技術を研究・開発し世界の産業技術の発展に貢献していきたいと思います。」
 

受賞会場にて：左から藤本執行役員、溝口副社長、松永執行役員、仏師田執行役員

受賞式にて：集合写真

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