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A High Output 1.5 Times Greater Than the Previous Model Thanks to a Full Model Change for the First Time in 15 Years

Oyama, Tochigi; November 4, 2020 — Gigaphoton Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi; President and CEO: Katsumi Uranaka), a manufacturer of lightsources used in semiconductor lithography, has announced that it began shipping its new KrF light source model ‘G60K’ on October 29.

A full model change for the first time in about 15 years and the introduction of a new power supply unit has made it possible for the new KrF light source model ‘G60K’ to output 60 W, which is 1.5 times greater than that of the previous model. By this improvement, maximum 150% scanner productivity enhancement is expected. Furthermore, the body uses a new platform that also offers augmentability to support future KrF lightsource performance improvements to support further scanner productivity enhancement in the future.

Until now, conventional KrF lightsources had been presented the dilemma that although throughput increases at high output, the amount of downtime increases due to increased module replacement, and thus, the availability of the light source decreases. The new technology of the ‘G60K’ model enables to achieve both high output and high availability without increasing the amount of downtime. It also enables to achieve maximum throughput in the high dose layer.

Katsumi Uranaka, President & CEO of Gigaphoton said, “Our KrF lightsources are products with compilation of our technology and experience, and have been highly regarded by our customers for a long time. We are confident that the G60K, which has undergone a full model change for the first time in 15 years, will be highly occupied in the field and further increase the productivity of our customers. We will continue to provide products and services that maximize productivity.”

About GIGAPHOTON

Since it was founded in 2000, GIGAPHOTON has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, GIGAPHOTON is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit https://www.gigaphoton.com/en/

Media contact:
GIGAPHOTON Inc
Corporate Planning Division
Kenji Takahisa
TEL: +81-285-37-6931
E-mail: web_info@gigaphoton.com[:ja]

15年ぶりのフルモデルチェンジで1.5倍の高出力を実現

栃木県小山市;2020年11月4日、半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は、新型KrF露光装置用光源「G60K」を10月29日に出荷したと発表しました。

新型KrF用光源「G60K」は、約15年ぶりのフルモデルチェンジと新型電源ユニットの導入により、従来比1.5倍の出力60Wを可能にしました。これにより、スキャナーの生産性を最大150%改善することが期待できます。また、ボディは拡張性を兼ね備えた新型プラットフォームを採用し、将来のKrFスキャナーの生産性拡張に対応するための光源の性能向上にも対応しています。

従来のKrF光源は、高出力になるとスループットは上がるものの、モジュール交換増加によるダウンタイムが増え、結果アベイラビリティが下がるというジレンマがありました。「G60K」はその新技術により、ダウンタイムを増やすことなく、高出力・高アベイラビリティの両立に成功しています。また、高ドーズレイヤーにおける最大スループットの実現も可能となっています。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏は、こう述べています。「ギガフォトンのKrF光源は我々の技術と経験が詰まった製品であり、お客様から長きに渡り高い評価を得ています。今回15年ぶりでフルモデルチェンジしたG60Kは、フィールドで高稼働し、お客様の生産性を一層高めると確信しています。ギガフォトンは引き続き、生産性を最大化する製品・サービスを提供していきます。」

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンは光源サプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

報道関係者向けの連絡窓口:
ギガフォトン株式会社
経営企画部
高久賢次
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com[:cs]

时隔15年的全新改款、实现1.5倍的高输出

栃木县小山市;2020年11月4日,半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社(总部: 栃木县小山市、董事长兼总经理: 浦中克己)宣布,新型KrF曝光机用光源“G60K”已于10月29日出厂。

新型KrF光源“G60K”时隔约15年,通过全新改款及引进新型电源单元,实现了60W的输出功率,相当于传统功率的1.5倍。从而最大可实现提高150%的扫描仪生产效率。另外,“G60K”的机身采用了兼具可扩展性的新平台,并支持为支持未来KrF扫描仪的生产效率扩展的光源性能改进。

目前,传统的KrF用光源存在以下难题,即以高输出实现高处理速度,而模块更换次数增多而导致停机时间增加,最终造成设备Availability下降。“G60K”凭借其新技术,在不增加停机时间的情况下,成功实现了高输出功率和高Availability。并对于高能量光刻层也实现了最大处理速度。

Gigaphoton董事长兼总经理浦中克己表示:“Gigaphoton的KrF光源是一款融合我们技术和经验的产品,长期以来一直受到客户的高度评价。我坚信,此次时隔15年全新改款的G60K将在制造现场高效运行,进一步提高客户的生产效率。Gigaphoton将继续提供实现生产力最大化的产品和服务。”

GIGAPHOTON公司简介

GIGAPHOTON公司成立于2000年,作为一家激光器的供应商,自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问:https://www.gigaphoton.com/cs/

新闻媒体专用联系窗口:
GIGAPHOTON株式会社
经营企划部
高久贤次
电话:+81-285-37-6931
邮箱: web_info@gigaphoton.com[:ct]

睽違15年全面改造實現功率提升1.5倍

栃木縣小山市;2020年11月4日,半導體微影光源製造商Gigaphoton株式會社(總公司: 栃木縣小山市;董事長:浦中克己)公佈10月29日已出貨新型KrF用光源「G60K」。

新型KrF用光源「G60K」在進行睽違約15年的全面改造並導入新型電源元件後,成功使得既有機型功率提升約1.5倍達到60W。此外,機身採用兼具擴張性的新型平台,可對應高頻化等KrF光源未來的性能提升需求。

既有KrF光源儘管在輸出功率提升後雖能增加產出,但因模組更換頻率的提高導致停機時間增加,進而造成運作率下降的兩難困境。然而「G60K」採用新技術後,不會增加停機時間即達到相同輸出功率,同時兼具高輸出功率與高產出的目標,最終實現在高曝光層下的最大產出。

Gigaphoton董事長兼CEO浦中克己表示:「Gigaphoton的KrF光源是集結本公司技術及經驗所成就的產品,長期以來深獲顧客極高評價,我相信這次睽違15年重新進行全面改造的G60K,勢必能夠提升現場運作率,進一步提高顧客產能才是。Gigaphoton今後也將持續提供各項具備產能最大化的產品及服務。」

關於GIGAPHOTON

2000年成立以來,GIGAPHOTON作為雷射光源製造供應商,不斷提供具有價值且高度整合方案給全球半導體廠商。GIGAPHOTON從研究開發以至製造・銷售・保修服務的所有環節,將承諾秉持著客戶導向的精神,堅持業界最高水準的技術服務持續邁進。詳細資訊請參閱網站https://www.gigaphoton.com/ct/

新聞公關聯絡窗口:
GIGAPHOTON
經營企畫部
高久賢次
TEL: 0285-37-6931
Email: web_info@gigaphoton.com[:kr]

15년 만의 풀 모델 체인지를 통해 1.5배의 고출력을 실현

토치기현 오야마시; 2020년 11월 2일, 반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 신형 KrF용 광원 ‘G60K’를 10월 29일에 출하했다고 발표했습니다.

신형 KrF용 광원 ‘G60K’는 약 15년 만에 풀 모델 체인지와 신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 1.5배인 60W 출력이 가능해졌습니다. 또한 바디는 확장성을 두루 갖춘 신형 플랫폼을 채용하여 고주파수화 등 향후 KrF 광원의 성능 향상에도 대응합니다.

기존 KrF용 광원은 고출력 시 스루풋은 올라가지만, 모듈 교환 증가로 인해 다운 타임이 늘어나 가용성이 저하되는 딜레마가 있었습니다. ‘G60K’는 이 신기술을 통해 다운 타임을 늘리지 않으면서 고출력ㆍ고가용성을 양립하는 데 성공했습니다. 또한 고선량 레이어의 최대 스루풋 실현도 가능합니다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미 씨는 이렇게 말하고 있습니다. “기가포톤의 KrF 광원은 우리의 기술과 경험이 응축된 제품으로 고객에게 오랫동안 높은 평가를 받고 있습니다. 금번 15년 만에 풀 모델 체인지한 G60K는 현장에서 높은 가동을 실현하여 고객의 생산성을 한층 더 높여주리라 확신합니다. 기가포톤은 앞으로도 생산성을 최대화하는 제품과 서비스를 제공해 나가겠습니다.”

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.。

언론 연락처
기가포톤주식회사
경영기획부
타카히사 켄지
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com[:]