本加工事例では、ArFエキシマレーザを用いて、PTFE（ポリテトラフルオロエチレン）に格子状の穴配列を形成した事例を紹介します。

加工サンプルには、40mm角・厚み2mmのPTFEを用い、直径一定の丸穴を10×11配列で、2mmピッチの格子状構造として加工を行いました。

PTFEは、約5.0 eVと高い結合エネルギーを持つC–F結合を主とするフッ素系高分子材料であるのに加え、融点が約327℃と比較的低く熱的な加工余裕が小さいことから、一般にレーザ加工が難しい材料として知られています。

しかし、ArFエキシマレーザを用いることで、入口側が直径1.3mm、出口側が直径0.9mmの穴からなる格子状配列を、2mmのピッチで加工できることが分かります。