ギガフォトン、東芝セミコンダクター&ストレージ社四日市工場より「パートナーシップ賞」受賞

ヘリウムフリーを始めとするグリーンイノベーション、高評価を得る

 栃木県小山市; 2015年1月26日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、希少ガス消費量の低減に積極的に取り組み、材料コストの削減に多大な貢献をしたことが評価され、世界有数のNANDフラッシュメモリ生産拠点である株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社四日市工場より「パートナーシップ賞」を受賞したと発表しました。

 ギガフォトンは半導体露光装置用レーザーに使用される、ヘリウムやネオン等の希少ガス消費量を大幅に削減できる「ヘリウムフリー技術」や「eTGM技術」を積極的に半導体メーカーに提供してきました。これらの活動が認められ、1月6日、四日市工場長の渡辺友治氏より記念品及び賞状が、授与されました。

 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「世界有数の半導体メーカーである、東芝セミコンダクター&ストレージ社四日市工場様より、このような賞をいただけたことは大変な名誉であり、心より感謝申し上げます。昨年は、ここ数年の弊社のグリーン技術が高く評価され、世界の半導体製造業大手6社からメジャーベンダーと指定されました。今後もお客様に役立つ技術・製品を提供するため、より一層の努力をする所存です」。

 ギガフォトンは半導体露光装置用レーザーで使用するヘリウムを、窒素に置き換えることで99%削減(当社従来比)できる「ヘリウムフリー技術」を開発し、2013年より提供を開始しました。またレーザーガス全体の96%以上を占め、バッファガスとして使用されるネオンガスの消費量を最大50%削減できる「eTGM技術」を開発し、ネオンガス供給の不安定な間という期限付き条件で、2014年より顧客に無償提供を実施しています。これらの技術はギガフォトンが推進するEcoPhoton™プログラムに従い、資源の使用量削減のため計画的に開発・提供されています。その成果は顧客より高い評価を得ており、現在では大手DRAMメーカーなどからも積極的に採用されています。

 ヘリウムフリーに関する過去のニュースリリース

 eTGMに関する過去のニュースリリース

 EcoPhotonプログラムについて

EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト(Cost of Ownership = CoO)を、消耗部品により発生するコスト(Cost of Consumable = CoC)、ダウンタイムにより発生するコスト(Cost of Downtime=CoD)、環境負荷のコスト(Cost of Environment = CoE)の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

 ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になることを目指しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを約束します。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

 報道関係者向けの連絡窓口: 

寺嶋 克知

ギガフォトン株式会社

経営企画部

TEL: 0285-37-6931

Eメール: web_info@gigaphoton.com