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ヘリウムフリーを始めとするグリーンイノベーション、高評価を得る

 栃木県小山市; 2015年1月26日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、希少ガス消費量の低減に積極的に取り組み、材料コストの削減に多大な貢献をしたことが評価され、世界有数のNANDフラッシュメモリ生産拠点である株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社四日市工場より「パートナーシップ賞」を受賞したと発表しました。

 ギガフォトンは半導体露光装置用レーザーに使用される、ヘリウムやネオン等の希少ガス消費量を大幅に削減できる「ヘリウムフリー技術」や「eTGM技術」を積極的に半導体メーカーに提供してきました。これらの活動が認められ、1月6日、四日市工場長の渡辺友治氏より記念品及び賞状が、授与されました。

 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「世界有数の半導体メーカーである、東芝セミコンダクター&ストレージ社四日市工場様より、このような賞をいただけたことは大変な名誉であり、心より感謝申し上げます。昨年は、ここ数年の弊社のグリーン技術が高く評価され、世界の半導体製造業大手6社からメジャーベンダーと指定されました。今後もお客様に役立つ技術・製品を提供するため、より一層の努力をする所存です」。

 ギガフォトンは半導体露光装置用レーザーで使用するヘリウムを、窒素に置き換えることで99%削減(当社従来比)できる「ヘリウムフリー技術」を開発し、2013年より提供を開始しました。またレーザーガス全体の96%以上を占め、バッファガスとして使用されるネオンガスの消費量を最大50%削減できる「eTGM技術」を開発し、ネオンガス供給の不安定な間という期限付き条件で、2014年より顧客に無償提供を実施しています。これらの技術はギガフォトンが推進するEcoPhoton™プログラムに従い、資源の使用量削減のため計画的に開発・提供されています。その成果は顧客より高い評価を得ており、現在では大手DRAMメーカーなどからも積極的に採用されています。

 ヘリウムフリーに関する過去のニュースリリース

 eTGMに関する過去のニュースリリース

 EcoPhotonプログラムについて

EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト(Cost of Ownership = CoO)を、消耗部品により発生するコスト(Cost of Consumable = CoC)、ダウンタイムにより発生するコスト(Cost of Downtime=CoD)、環境負荷のコスト(Cost of Environment = CoE)の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

 ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になることを目指しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを約束します。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

 報道関係者向けの連絡窓口: 

寺嶋 克知

ギガフォトン株式会社

経営企画部

TEL: 0285-37-6931

Eメール: web_info@gigaphoton.com

 

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Gigaphoton’s Green Innovations, Including Helium-Free Purge Process, Win High Recognition

OYAMA, JAPAN, January 26, 2015Gigaphoton Inc., a major lithography light source manufacturer, today announced that the company has been recognized with a 2015 Partnership Award from Toshiba Semiconductor & Storage Company’s Yokkaichi Operations, a major world production base of NAND flash memory devices. Gigaphoton received this award for its efforts in developing innovative solutions for reducing the consumption of rare gas, thereby contributing to a great reduction of materials cost.

Gigaphoton has been providing semiconductor device manufacturers with its green innovations, including its “Helium-Free Purge Process” and “eTGM Solution” that allow a great reduction in the consumption of rare gases, including helium and neon, used for the excimer lasers incorporated into semiconductor lithography tools. Gigaphoton’s green innovations have been highly recognized by Toshiba: Mr. Tomoharu Watanabe, General Manager of the Yokkaichi Operations awarded a trophy and certificate to Gigaphoton Inc., on January 6.

“We are honored to receive this award from one of the leading semiconductor device manufacturers, Toshiba Semiconductor & Storage Company’s Yokkaichi Operations,” commented Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton, “Last year, our green innovations were well accepted, and we were designated as a major vendor by the world’s six leading semiconductor device manufacturers. We are committed to maximizing our effort for providing technologies and products that are more productive for our customers.”

Gigaphoton developed a helium-free purge process that uses nitrogen, thereby reducing helium consumption by 99% (compared with the conventional purge process), and started marketing this process in 2013. In addition, the company developed the eTGM Solution, a new technology that reduces neon gas consumption by up to 50%; in 2014, it began providing this function free of charge until the supply of neon gas has returned to the normal condition. These technologies have been systematically developed and provided bases on the EcoPhoton™ program promoted by Gigaphoton to reduce the consumption of resources. The fruits of this EcoPhoton™ program have been highly recognized by the users, and currently are being introduced by major DRAM manufacturers.

About the EcoPhoton™ Program

The EcoPhoton™ program is a roadmap started in 2003 to implement Green Innovations for providing environmentally-friendly and user-friendly lithography light sources. The focus is on detailed analyses of three key cost-of-ownership (CoO) metrics: cost of consumables (CoC), cost of downtime (CoD), and cost of environment (CoE). The program aims at achieving continuous reduction of these costs by developing innovative green technologies.

About Gigaphoton

Since it was founded in 2000, Gigaphoton has developed and delivered user-friendly, high-performance DUV laser light sources used by major semiconductor manufacturers in the Pan-Asian, US and European regions.

Gigaphoton leads the way with cost-effective, highly productive lithography sources for high-volume production. With a global business outlook, Gigaphoton strives to be the world’s number-one lithography light source provider, focusing on end-user needs in every phase of its business — from research and development to manufacturing, to best-in-class reliability and world-class customer support.

See the previous press release about helium-free purge process.

See the previous press release about eTGM.

Media Contact

Katsutomo Terashima

Corporate Planning Division

Gigaphoton Inc.

Tel: +81-285-37-6931

E-mail: web_info@gigaphoton.com

 

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