ギガフォトン、加工装置向けKrFレーザーG200K出荷

2019年3月20日

   栃木県小山市; 2019年3月20日 —半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は、最大出力200Wの加工装置向けKrFレーザーG200Kを2019年2月に出荷したと発表しました。

   ギガフォトンは、半導体リソグラフィで培った高い技術力を生かした高信頼性エキシマレーザー“GIGANEX”(ギガネックス)シリーズを2016年に発表、その第1弾としてFPD製造におけるアニール工程向けKrFレーザーGT600Kを発表しました。今回リリースした加工装置向けKrFレーザーG200Kは、その第2弾にあたります。最大出力200WのG200Kは、ギガフォトンのレーザー性能安定化技術とモジュール寿命延長技術を織り込むことで高い信頼性を実現し、お客様のニーズに応える加工装置向けレーザーとして期待されています。

   ギガフォトン代表取締役社長の浦中克己はこうコメントしています。「ギガフォトンの“GIGANEX”は、我々の長年培ったエキシマレーザーの技術を、半導体リソグラフィ以外の分野に向けて応用するというコンセプトのもと、シリーズ化されています。今回その第2弾であるG200Kが出荷され、製品ラインナップを拡大しました。ギガフォトンは今後も“GIGANEX”によるソリューションを提供して、産業界に広く貢献していきます。」

 

ギガフォトンについて

2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

 
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