エキシマレーザや、193nm固体レーザを使った加工サンプルを展示
栃木県小山市;2026年4月17日、半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 榎波龍雄)は、2026年4月22日(水)から24日(金)にかけてパシフィコ横浜(神奈川県)で開催される、「OPTICS & PHOTONICS International Exhibition 2026」(以下、OPIE 2026)と、併催される学会「OPTICS & PHOTOINCS International Congress 2026」(以下、OPIC 2026)に参加し、ブース出展と論文発表を行います。
皆さまのお越しをお待ちしております。
記
ブース出展
| イベント名 | OPTICS & PHOTONICS International Exhibition 2026 (OPIE 2026) |
| イベントURL | https://www.opie.jp/ |
| 開催期間 | 2026年4月22日(水)~24日(金) |
| 会場 | パシフィコ横浜 展示ホールA-C・アネックスホール (神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1) |
| 出展ブースNo. | C-41 「TACMIコンソーシアム」ブース内で展示 |
論文発表
| 学会名 | 第6回スマートレーザプロセス国際会議 (SLPC2026) ※OPIC 2026内で開催 |
| イベントURL | https://opicon.jp/ja/conferences/slpc/ |
| ギガフォトン発表日 | 2026年4月23日(水) 13:00~(日本時間) Short pulse & UV laser processing セッション内 |
| 会場 | パシフィコ横浜 会議センター 3F会議室311-312 (神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1) |
| 論文タイトル・ 発表者 | 以下の発表はShort pulse & UV laser processingの一部です。 [SLPC10-03]Measurement of Laser Induced-Ablation Threshold in Wide Bandgap Dielectrics Using 193 nm Solid State Laser *Hiroaki Motosugi, Rikuo Koike, Hironori Igarashi, Atsushi Fuchimukai, Taisuke Miura (GIGAPHOTON INC.) [SLPC10-04]Half A Minute Diagonal Hole Drilling on SiC-CMC Using Hybrid ArF Excimer Laser *Takashi Onose, Hironori Igarashi, Rikuo Koike, Atsushi Fuchimukai, Taisuke Miura (GIGAPHOTON INC.) |
以上
報道関係者向けの連絡窓口:
| ギガフォトン株式会社 経営企画部 Eメール: web_info@gigaphoton.com |