ArF Dry

ArF Immersion

ソフトウェア


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png" alt="GT45A" class="wp-image-7624" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="gt65aの最先端技術を適用-高い機能拡張性でさらなる生産性-ウェハアウトプット-向上を実現">GT65Aの最先端技術を適用、高い機能拡張性でさらなる生産性（ウェハアウトプット）向上を実現</h2>



<p>GT45Aは、最先端ArF液侵用光源であるGT65Aプラットフォームをベースとした、高い機能拡張性を備えたモデルとなっています。<br>最新型モジュール搭載による「高稼働率」、現行モデルGT40Aから引き継いだ「ヘリウムフリー」で、生産性の向上と環境負荷軽減を同時に実現します。<br>また、スペクトル幅安定性の向上、可変技術、最大90Wの高出力化を可能にし、お客様の多様なニーズに応えます。</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な特長">主な特長</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="モジュール寿命延長">モジュール寿命延長</h4>



<p>GT65Aで導入・実績のあるモジュール寿命延長技術を、標準で搭載。メンテナンス頻度を低減させ、生産性向上に貢献します。</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="高い機能拡張性">高い機能拡張性</h4>



<p>GT65Aで使用可能な機能・技術を、搭載することが可能です。</p>



<ul><li>スペクトル幅安定性向上による、CD均一性の向上</li><li>スペクトル幅可変技術による、異なる世代の露光機でのコントラスト性能差の補正</li><li>発振周波数6kHz・最大90Wの高出力化による、更なる生産性(スループット)の向上</li><li>sMonitoringによる、データ収集・モニタリング及び解析</li></ul>
</div></div>



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<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な仕様">主な仕様</h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>項目</th><th>値<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>発振波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均出力</td><td>45 &#8211; 90 W</td></tr><tr><td>パルスエネルギー</td><td>11.25 &#8211; 15 mJ</td></tr><tr><td>発振周波数</td><td>4,000 &#8211; 6,000 Hz</td></tr><tr><td>スペクトル幅（95%エネルギー積算-E95）</td><td>≤0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 各仕様値は代表値です</figcaption></figure>
</div></div>


GT45A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png" alt="GT40A" class="wp-image-7623" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="65nm以降の技術ノードに対応する4-khz-arfエキシマレーザ製品">65nm以降の技術ノードに対応する4 kHz ArFエキシマレーザ製品</h2>



<p>露光装置用光源として、世界で初めてインジェクションロック技術を採用し、従来困難とされていた、狭いスペクトルと高出力の両立を可能としました。 また、光学系へのダメージを軽減する、低ピークのパルスエネルギーを発振することにより、業界トップレベルの低ランニングコストを実現。さらに、新開発の 高度自己診断機能 (self diagnosis) を搭載しているほか、モジュール交換性などサービス性を大幅に改良し、高信頼性・高稼働率を実現しています。</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な特長">主な特長</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="インジェクションロックレーザー"><strong>インジェクションロックレーザー</strong></h4>



<p>量産機として業界初の<em>インジェクションロック</em>技術(*)を採用し、45 Wの高出力と、半値全幅では0.2ピコメートル、E95では0.5ピコメートルという、業界最高水準のスペクトル線幅のDUV光を、高度に安定して発振す ることができます。また、レーザ及び露光装置の光学系へのダメージを軽減する、低ピークのパルスエネルギーを実現しています。</p>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td><strong>インジェクションロック</strong>技術とは、非常に狭いスペクトル幅にチューニングし発振させた低出力のレーザ光（Master）を、大出力のレーザ共振器 （Amplifier）に注入し、レーザ共振により増幅する技術で、従来困難とされていた狭いスペクトルと高出力の両立を可能とする技術です。</td></tr></tbody></table></figure>



<h4 class="wp-block-heading" id="業界トップレベルの低ランニングコスト"><strong>業界トップレベルの低ランニングコスト</strong></h4>



<p>インジェクションロック技術により、レーザ光学部品への負荷が低減され、また、システム構成をリファインすることにより消耗品（モジュール）の種類・交換頻度が大幅に低減されました。その結果、業界トップレベルの低ランニングコストを実現しています。</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="高信頼-高稼働設計"><strong>高信頼・高稼働設計</strong></h4>



<p>新開発の高度自己診断機能(self diagnosis)を搭載しているほか、モジュール交換性など、サービス性を大幅に改良し、半導体工場で必須とされる高信頼性・高稼働率を実現しています。</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な仕様"><strong>主な仕様</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>項目</th><th>値<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>発振波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均出力</td><td>45 W</td></tr><tr><td>パルスエネルギー</td><td>11.25 mj</td></tr><tr><td>発振周波数</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>スペクトル線幅（FWHM）</td><td>0.2 pm</td></tr><tr><td>スペクトル幅（95 %エネルギー積算-E95）</td><td>0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 各仕様値は代表値です</figcaption></figure>
</div></div>


GT40A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png" alt="G42A" class="wp-image-7658" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="80-nmノードに対応する4-khz-arf-エキシマレーザ">80 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ</h2>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な特長">主な特長</h3>



<ul><li>G41Aをベースとし、スペクトル幅（半値全幅）をG41Aの0.35 pmから0.3 pmに改良することにより、80nmデザインルールへの対応</li><li>各モジュールに高耐久部品を採用することにより長寿命化し、CoOを大幅に低減</li><li>レーザチャンバ：電極に高耐久部品を採用</li><li>狭帯域化モジュール、モニタモジュール等：光学部品に高耐久材料を採用</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な仕様">主な仕様</h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>項目</th><th>値*</th></tr></thead><tbody><tr><td>発振波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均出力</td><td>20 W</td></tr><tr><td>パルスエネルギー</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>発振周波数</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>スペクトル線幅（FWHM）</td><td>0.3 pm</td></tr><tr><td>スペクトル幅（95 %エネルギー積算-E95）</td><td>0.75 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 各仕様値は代表値です</figcaption></figure>
</div></div>


G42A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png" alt="G41A" class="wp-image-7664" srcset="https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png 500w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-300x300.png 300w, https://webapi2.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="100-nmノードに対応する4-khz-arf-エキシマレーザ">100 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ</h2>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な特徴">主な特徴</h3>



<ul><li>新設計の固体パルス電源により周波数4000 Hzでの発振が可能となり、20 Wの高スループットが実現</li><li>ギガフォトンKrFレーザ(G10Kシリーズ、G20Kシリーズ）の高信頼設計を踏襲</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow"><div class="wp-block-group__inner-container">
<h3 class="wp-block-heading" id="主な仕様">主な仕様</h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>項目</th><th>値<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>発振波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均出力</td><td>20 W</td></tr><tr><td>パルスエネルギー</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>発振周波数</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>スペクトル線幅（FWHM）</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>スペクトル幅（95 %エネルギー積算-E95）</td><td>0.85 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 各仕様値は代表値です</figcaption></figure>
</div></div>


GT45AGT45A

GT65Aの最先端技術を適用、高い機能拡張性でさらなる生産性（ウェハアウトプット）向上を実現

主な特長

モジュール寿命延長

高い機能拡張性

主な仕様

その他のArF Dry

GT40A

G42A

G41A

項目	値^*
発振波長	193 nm
平均出力	45 – 90 W
パルスエネルギー	11.25 – 15 mJ
発振周波数	4,000 – 6,000 Hz
スペクトル幅（95%エネルギー積算-E95）	≤0.5 pm