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100 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ
主な特徴
- 新設計の固体パルス電源により周波数4000 Hzでの発振が可能となり、20 Wの高スループットが実現
- ギガフォトンKrFレーザ(G10Kシリーズ、G20Kシリーズ）の高信頼設計を踏襲
主な仕様
| 項目 | 値* |
|---|---|
| 発振波長 | 193 nm |
| 平均出力 | 20 W |
| パルスエネルギー | 5.0 mJ |
| 発振周波数 | 4,000 Hz |
| スペクトル線幅（FWHM） | 0.35 pm |
| スペクトル幅（95 %エネルギー積算-E95） | 0.85 pm |
