G41A

100 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ

主な特徴

  • 新設計の固体パルス電源により周波数4000 Hzでの発振が可能となり、20 Wの高スループットが実現
  • ギガフォトンKrFレーザ(G10Kシリーズ、G20Kシリーズ)の高信頼設計を踏襲

主な仕様

項目*
発振波長193 nm
平均出力20 W
パルスエネルギー5.0 mJ
発振周波数4,000 Hz
スペクトル線幅(FWHM)0.35 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95)0.85 pm
(*) 各仕様値は代表値です