G20K

0.18 μmデザインルールに対応する 2 kHz KrFエキシマレーザ

G20K

G20Kは、エネルギー安定性±0.4 %、半値0.6 pm以下の狭いスペクトル線幅により、0.18 μmノードのリソグラフィでの高解像度に対応します。

主な特長

  • 発振周波数を、G10Kの1000 Hzから2000 Hzに引き上げ、高スループットを実現
  • レーザ発振の安定性とモジュール耐久性を大幅に向上し、更なるCoO(パルスあたりのランニングコスト)低減を達成
  • G10Kに比べ、設置床面積を14 %縮小したコンパクトな筐体
  • 新設計の固体パルス電源モジュールにより、電力消費量を20 %削減

主仕様*

発振波長 248 nm
平均出力 20 W
パルスエネルギー 10.0 mj
発振周波数 2,000 Hz
スペクトル幅(FWHM) 0.6 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95) 2.0 pm
積算エネルギー安定性 0.4 %
(*) 各仕様値は代表値です