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ユーザー等との共同開発により、グリーン技術の更なる進化へ

栃木県小山市; 2015年2月17日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、同社の最新モデルArFエキシマレーザー「GT64A4」をこの2月出荷する、と発表しました。

 GT64A4の最大の特徴はオープンイノベーション活動を可能にするため、オープンプラットフォームに対応できるよう設計されているということです。そのためギガフォトンがユーザーやその他のパートナーと協力して、運転コストや環境負荷を低減する等の技術開発ができるように、レーザーのデータ共有が容易になっています。その一例として、同レーザーのガス消費量をさらに半減する技術の共同開発プロジェクトが、現在すでにスタートしています。そしてGT64A4は、新たに開発された技術を搭載・接続するための拡張性を備えていますので、レーザー導入後もアップグレードしながら長期間にわたって使用することができます。

 またGT64A4は、ギガフォトンのEcoPhotonプログラムに沿って開発された、ガスや電気の消費量削減等、環境やコストに貢献する技術「eTGM」や「eGRYCOS」を標準搭載し、年間35%のコスト削減ができます。(同社従来最新機種比較)さらに、新開発のスペクトル制御技術を搭載、+/-5fm(フェムトメートル)という高いレベルの安定性を提供し、ウェハ上のCD均一性の向上にも大きく貢献することができます。

  ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「当社の強みであるグリーンイノベーション技術を結集させたGT64A4は、この技術の進化をさらに加速させるべく、オープンイノベーションプラットフォームとしてデザインされています。GT64A4 の出荷は、当社にとり大きなマイルストーンとなりました。今後もこのレーザーを起点としてお客様やパートナーと協力し、新たなイノベーションを 提供し続けることで半導体工場の効率化、グリーン化に貢献していく所存です。」

  EcoPhotonプログラムについて

EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト(Cost of Ownership = CoO)を、消耗部品により発生するコスト(Cost of Consumable = CoC)、ダウンタイムにより発生するコスト(Cost of Downtime=CoD)、環境負荷のコスト(Cost of Environment = CoE)の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

  *本件は、独立行政法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)」の助成プログラムの成果を活用しています

 ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になることを目指しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを約束します。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

 

報道関係者向けの連絡窓口:

寺嶋 克知

ギガフォトン株式会社

経営企画部

TEL: 0285-37-6931

Eメール: web_info@gigaphoton.com

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Built to support co-developments through open innovation – further advancing Green Technologies

 OYAMA, JAPAN; February 17, 2015Gigaphoton Inc., a major lithography light source manufacturer, announced today that it will begin shipment of its newest ArF Excimer laser, GT64A4, in February.

 An important feature of the GT64A4 is its open design platform, capable of supporting many kinds of collaborative development efforts.  It allows laser data to be easily shared and utilized by customers and partners in cooperation with Gigaphoton to develop new technologies for reducing operational costs and environmental impact.  For example, a joint-development project is already underway to further reduce the gas consumption by another 50 percent.  The GT64A4 is designed to be scalable to facilitate the incorporation of new technologies and features as they become available.  Customers can continuously upgrade, which enables the ability to use the laser for many years to come.

 The GT64A4 is also equipped with many of the features developed under Gigaphoton’s long-standing EcoPhoton™ program, including environmental and cost-friendly gas/electricity reduction technologies such as eTGM™ and eGRYCOS™, which enables an annual operating cost savings of up to 35 percent compared to previous models.  It is also equipped with a new spectrum control technology capable of achieving incredibly high spectral beam stabilization to within ±5 fm (femtometers)─offering huge benefits for critical dimension (CD) stability across wafers.

 “All of Gigaphoton’s strength in green technologies is concentrated into the GT64A4,” said Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton. “Its open innovation platform design will help to further accelerate the evolution of these technologies.  The shipment of this laser is a huge milestone for Gigaphoton.  Our GT64A4 laser will be used as a basis for cooperating with customers and partners to continue to develop and introduce new innovations that help optimize semiconductor factories to become more efficient and green.”

 This milestone was achieved as part of a program subsidized by New Energy and Industrial Technology Development Organization (NEDO).

 About EcoPhoton™

The EcoPhoton™ program has been defining and executing a roadmap for offering customers with environmentally and user-friendly lithography tools since 2003. This program has categorized the laser’s cost of ownership (CoO) into three categories, Cost of Consumables (CoC), Cost of Downtime (CoD) and Cost of Environment (CoE).  By carefully analyzing the cost elements of each category, Gigaphoton continuously strives to introduce new technologies that will help to reduce these costs. 

 About Gigaphoton

 Since the company’s establishment in the year 2000, Gigaphoton has developed and delivered highly reliable and high-performance DUV laser light sources to major semiconductor manufacturers worldwide.

Gigaphoton’s patented, innovative LPP EUV technology solutions lead the way to cost effective, highly productive lithography light sources for high-volume manufacturing.  With a global business outlook, Gigaphoton strives to become the world’s leading lithography light source provider, focusing on customer needs in every phase of its business, from research and development to manufacturing and world-class customer support. For further information visit http://www.gigaphoton.com.

 

Media Contact

 Katsutomo Terashima

Corporate Planning Division

Phone: +81-(0)285-37-6931

E-Mail: web_info@gigaphoton.com

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