OYAMA, Japan, JUNE 28, 2007 – Gigaphoton Inc., a major lithography light source manufacturer for the global semiconductor industry, today announced the installation of its 500th excimer laser light source at Samsung Electronics Co., Ltd.  Today’s achievement underscores the industry’s continued adoption of Gigaphoton’s light source technology as essential for addressing next-generation lithography applications.  The milestone installation is for Gigaphoton’s GT40A, which was integrated into one of its OEM customers’ state-of-the-art ArF lithography tools.

Commenting on today’s milestone, Gigaphoton President, Dr. Yuji Watanabe, noted, “This installation at Samsung marks a momentous accomplishment for Gigaphoton, as it demonstrates growing acceptance of our advanced ArF light sources in tackling next-generation lithography applications.  We are happy that our 500th tool was installed at Samsung, who is not only one of today’s top leaders and innovators, but also one of our most valued end-customers.  In fact, we have worked closely with Samsung to enhance our light source offerings to ensure our solutions continue to deliver the superior quality, reliability and high throughput required from their lithography processes.”

Gigaphoton’s laser shipments continue to increase, and its market share has continued to grow at a rapid-fire pace since its inception in 2000.  Testament to its strong laser sales, the company reports it has installed more than 100 lasers in the last 12 months.  Furthermore, the company reports its revenue has grown by more than 80 percent as it continues to claim an increasing share of the excimer laser market, of which it commands an approximate 30-percent stake (based on laser sales revenue in 2006).

Gigaphoton’s GT40A is a 4kHz, 45W, ArF excimer light source, offering a spectrum below 0.50pm (E95), enabling advanced lithography tools to print circuit patterns 65 nm and below.  The GT40A leverages an injection-locking resonator to allow simultaneous maintenance of narrower spectral bandwidth and higher output – a combination that is difficult to achieve with conventional technologies.  In addition, it provides lower peak-pulse energy that reduces damage to a lithography tool’s optics to achieve the lowest running cost in the industry.  Gigaphoton’s GT40A is also equipped with advanced self-diagnostics and offers ease of serviceability to ensure high reliability and uptime.

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About Gigaphoton
Gigaphoton Inc. was founded in 2000 as a joint venture of Komatsu Ltd., the world’s No. 2 construction machinery manufacturer, and Ushio Inc., the world’s No. 1 lithography lamp manufacturer.  Since then, Gigaphoton has been developing and marketing user-friendly, highly innovative laser light sources that make a great contribution to lithography technology so as to meet the stringent requirements of the ultra-fine circuit patterns of the gigabit era, and is delivering them to major lithography tool suppliers in the global semiconductor industry.  As the world’s no. 2 excimer laser light source manufacturer, Gigaphoton holds a strong position in the Asian market, including Japan , while also continuing to enjoy rapid growth in the U.S. and European markets.  More information about Gigaphoton can be found on the company’s website athttp://www.gigaphoton.com.

The company name, logo, and designations GT40A are trademarks of Gigaphoton, Inc.  The content of this release may be revised without prior notice.  Gigaphoton shall not be liable for updating or announcing a correction if the content of this release is changed for any reason in the future.
© 2007 Gigaphotonギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/ )は、同社の出荷累計500台目となるエキシマレーザ光源が、韓国サムスン電子に設置されたと発表しました。これは、ギガフォトンのOEM顧客の最先端ArFリソグラフィ装置に組み込まれたGT40Aが納入されたもので、次世代リソグラフィアプリケーションに不可欠な技術として、ギガフォトンの光源技術が業界で長年にわたり圧倒的な支持を受け採用されていることを示すものです。

装置出荷累計500台を記録したことについて、ギガフォトン社長の渡辺裕司はこうコメントしています。「当社の500台目の装置が、サムスン電子のような今日の半導体業界における技術革新のリーダーであり、また当社にとって最も大切な顧客の一つに設置されたことを、とてもうれしく思います。当社は、これまでサムスン電子と密接に協力して、彼らのリソグラフィプロセスに要求される優れた品質、信頼性、高スループットを引き続き確実に提供するために当社の技術を向上させてきました。サムスン電子に設置されたことは、次世代リソグラフィアプリケーションに取り組む当社の最先端ArF光源が益々業界に受け入れられていることを示し、極めて重要です。」

ギガフォトンのレーザの出荷は順調に増加しており、マーケットシェアも2000年の創立以来驚異的なペースで伸び続けています。強力なレーザ販売を象徴するように、同社は最近12ヶ月で100台を超えるレーザを設置したと報告しています。また、同社の収益は80%を超える成長を遂げ、約30%が見込まれるエキシマレーザ市場でのシェアも引き続き増加しています(2006年の同社売上に基づく)。

ギガフォトンのGT40Aは、4 kHz、45 WのArFエキシマレーザでE95では0.5pmという、業界最高水準のスペクトル線幅のDUV光を、高度に安定して発振することができるため、最先端リソグラフィ装置に搭載した場合、65 nm以下の回路パターンの露光が可能です。GT40Aは、インジェクションロック方式を活用して、従来の技術では不可能だったより狭いスペクトル線幅と高出力の両立を可能にしています。更に、露光装置光学系へのダメージ軽減のため、レーザパルスエネルギーのピークエネルギーを大幅に低減し、業界で最も低い稼働コストを実現しています。また、ギガフォトンのGT40Aは、半導体工場で必須とされる高信頼性・高稼働率を実現するために、高度自己診断機能を搭載しているほか、モジュール交換性など、サービス性も大幅に改良しました。

ギガフォトン株式会社は2000年、世界2位の建設機械メーカー「コマツ」と、世界最大手の露光用ランプ・メーカー「ウシオ電機株式会社」の合弁会社として設立されました。以来、世界に先がけて次々と半導体リソグラフィ装置向け最新鋭エキシマレーザを製品化し、ギガビット世代の超微細集積回路に対応するリソグラフィ技術の発展に貢献しています。ギガフォトンは、世界2位の露光用エキシマレーザメーカーとして、日本を含むアジア市場ではほとんど全ての半導体メーカーで製品が使用されているほか、欧米市場でも急成長を続けています。ギガフォトンに関する詳細は、ウェブサイト http://www.gigaphoton.comをご覧ださい。

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社名、ロゴは、株式会社ギガフォトンの商標です。記載内容は予告なしに変更される場合があります。ギガフォトンは、プレスリリースの記載内容が将来の諸事由で変更された場合、内容の更新または訂正発表する責任を持ちません。©2007 ギガフォトン

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ギガフォトン株式会社 総務部 佐藤 日出一
TEL: 0285-28-8410 Email: hideichi_satou@gigaphoton.com

記事掲載時の連絡先
ギガフォトン株式会社 第一営業部 松井 優達
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