GT62A

世界最高出力90ワットを実現した液浸二重露光に対応するArFエキシマレーザ「GT62A」

GT62Aは、GTシリーズの最新モデルで、インジェクションロック方式を採用したプラットフォームの4世代目にあたります。液浸二重露光をサポートするために、90ワットの出力を提供します。さらに、さまざまな顧客ニーズに対応するため60Wでの運転も可能となっており、システム導入時の対費用効果に優れています。
チャンバや光学部品などの消耗品の長寿命技術、およびダウンタイムを最小にするギガフォトン独自の技術が搭載されており、経済面からも最先端プロセスの導入を支えます。
GTシリーズはすでに各国の主要ユーザーに数多く受け入れられており、その設計思想・信頼性が高く評価されています。GT62Aは、これまでのGTシリーズと同じプラットフォーム上に設計されており、最大限の共通化が図られているため、ユーザーにとってその導入当初から高い信頼性が期待できます。

主な特徴

高出力・高安定性

新開発の電源を採用することにより、60ワットのGT61Aと比較して50%の向上を達成し、90ワットの高出力を実現しました。高出力化に伴って増大する熱負荷への対策技術、新開発の高耐久性の光学素子を搭載しており、高出力運転時にも性能の安定性が確保されています。また、ギガフォトン独自の技術であるBCM(Bandwidth Control Module）を標準装備しており、安定したスペクトルを提供します。
GT62Aはさまざまな顧客ニーズに対応するため、60ワット出力の仕様もラインナップしました。これにより導入当初はコストを抑えながら60ワット出力で運転を続け、将来必要になった時点で90ワットにアップグレードすることが可能となり、最適なタイミングで必要な投資をしながらご使用いただけます。

コストの削減

半導体製造装置は飛躍的なスピードで高性能化に加えて高スループット化が進んでいます。このような製造装置を最大限の稼働率で運転することがお客様工場の生産性を高めることにつながると考え、ギガフォトンは長年に亘りあらゆる面からレーザの高稼働率を達成・維持するための活動を継続してきました。その技術はGTシリーズに搭載され、最新のGT62Aではガス交換によるダウンタイムを従来の10分の1にする技術や、チャンバ・光学素子を有効に使って実質寿命を延長することによりメンテナンス時間やコストを下げる技術が搭載されています。

主な仕様

項目値*
発振波長193 nm
平均出力60/90 W
パルスエネルギー10.0/15.0 mJ
発振周波数6,000 Hz
スペクトル幅（95 %エネルギー積算-E95）0.35 pm
(*) 各仕様値は代表値です