Shipping New Excimer Laser for Low-temperature Polycrystalline Silicon at Large-scale Liquid Crystal Display Manufacturing Plants

OYAMA, JAPAN; June 24, 2016 — Gigaphoton Inc. (headquarters: Oyama City, Tochigi Prefecture; President & CEO: Hitoshi Tomaru), a major semiconductor lithography light source manufacturer, announced the successful development of a new series of excimer lasers, the GIGANEX series, an application of Gigaphoton’s highly reliable semiconductor lithography excimer laser technology. In addition, Gigaphoton announced shipment for low-temperature polycrystalline silicon (LTPS) at large-scale liquid crystal display (LCD) manufacturing plants, mounting the GIGANEX excimer lasers on ultra-compact laser annealing equipment from V-Technology Co., Ltd., a company listed in the first section of the Tokyo Stock Exchange as 7717.

In recent years, Gigaphoton has continued its development work to apply the technologies that arose with the semiconductor lithography excimer laser program to other fields. It has succeeded in developing an excimer laser for use in the ultra-compact laser annealing process for amorphous silicon (a-Si) membranes in FPD manufacturing. A prototype of this new excimer laser, successfully resulting from this development program and known as GIGANEX, has been delivered to a panel manufacturer. It was subsequently used to great effect, to create a prototype, in use at Display Week 2016, held this year from May 22 to 27 in the United States.

The new GIGANEX series excimer lasers for annealing was developed for exclusive use with equipment from V-Technology for use as a light source during the ultra-compact laser annealing process. By incorporating the ultra-compact laser annealing process characteristics into the existing a-Si panel manufacturing process to crystallize the a-Si into poly-silicon (p-Si), enables the manufacturing of incredibly detailed panels, such as 8K panels, which were previously impossible to create using older a-Si processes. The new process is also suited to larger panel production, affording support for large-scale manufacturing plants that manufacture TV panels ranging from 50 to 70 inches, diagonally. This could not have been possible with existing laser annealing processes.

Gigaphoton President and CEO Hitoshi Tomaru notes that he is extremely happy that Gigaphoton’s excimer laser, GIGANEX, has, ahead of its entry into new industries, advanced into the FPD industry and greatly contributed to the success of an LTPS thin-film transistor LCD panel prototype. He went on to say that, moving forward, GIGANEX will become a new solution for flat-panel display (FPD) manufacturing, and that he expects great things for the industry.


The new GIGANEX excimer laser, which was developed using the immense technical prowess that resulted from Gigaphoton’s experience with semiconductor lithography, is a new brand of excimer laser that targets many fields, beyond FPD manufacturing, flexible device processes, and lithography. Working together with Gigaphoton’s partner companies to give rise to new innovations, Gigaphoton will rely on GIGANEX to provide unique solutions, expanding the possibilities for excimer lasers.

More information on GIGANEX is available from the following link:



Since its inception in 2000, Gigaphoton has constantly delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers the world over as a laser supplier. Gigaphoton promises to offer the world’s highest level of support for everything from research and development, to sales, maintenance, and manufacturing. See www.gigaphoton.com for more information.

The information contained in this press release was correct at the time of publication, and may be changed without prior notice.

Media contact:

Gigaphoton Inc.

Akinori Matsui, +81-(0)285-37-6931

Corporate Planning Division



大型液晶製造設備工場LTPS(低温多結晶シリコン) 向け新型エキシマレーザーを出荷

栃木県小山市; 2016年6月24日 – 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、高信頼性半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した、“GIGANEX”シリーズのアニール向けエキシマレーザーの開発に成功、株式会社ブイテクノロジー(7717(東証1部))の極小レーザーアニール装置に搭載され、このほど大型液晶製造設備工場でのLTPS(低温多結晶シリコン)向けに出荷されたと発表しました。

近年ギガフォトンは、半導体リソグラフィ用エキシマレーザーで培った技術を他の分野で応用するため、FPD製造における、a-Si(アモルファスシリコン)膜の極小レーザーアニール工程用エキシマレーザーの開発を進めており、このほど開発に成功した新型エキシマレーザー“GIGANEX”の試作機をパネルメーカーへ出荷しました。2016年5月22-27日に米国で開催されたDisplay Week 2016では、試作パネルが出展され、大きな反響をよびました。


ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「新しい分野に向けた、当社のエキシマレーザー“GIGANEX”が、FPD業界に進出し、パネルメーカー様のLTPS TFT液晶パネル試作成功に貢献できたことを大変嬉しく思います。今後“GIGANEX”が、FPD製造での新たなソリューションとなり、業界に貢献できることを期待しています。」











TEL: 0285-37-6931

Eメール: web_info@gigaphoton.com




半导体光刻光源的主要生产厂商Gigaphoton株式会社(总公司地址: 栃木县小山市,董事长兼总经理: 都丸仁)发布消息说:该公司已经利用可靠性较高的半导体光刻用准分子激光器成功开发了一种“GIGANEX”系列退火装置专用的准分子激光器,该装置搭载于株式会社V Technology【7717(东证1部)】的微型激光退火装置上,用于大型液晶制造设备工厂的LTPS(低温多晶硅)的生产。

近年来,为了将在半导体光刻用准分子激光器领域长期积累的技术应用到其他领域,Gigaphoton一直在推进用于FPD制造领域a-Si(非晶硅)膜的微型激光退火工序的准分子激光器的开发工作,并将开发成功的新型准分子激光器“GIGANEX”的试制机交付给了面板生产厂商。 在2016年5月22-27日于美国举办的Display Week 2016上展出了试制面板,引起了巨大轰动。

该“GIGANEX”系列退火装置专用的准分子激光器系V Technology公司生产的装置的专用机,是作为微型激光退火工序的光源开发的。微型激光退火装置的特点是,导入现有的a-Si面板的制造工序后,使a-Si结晶成p-Si(多晶硅),可以制造8K等规格的高精细面板,这是凭借以前的a-Si工艺所不可能实现的。另外,PLAS还适合于采用以往的激光退火工序难以实现的大型面板规格,并且也可以适用于制造的50~70英寸的电视面板的大型液晶制造设备工厂。

Gigaphoton董事长、总经理兼首席执行官都丸仁先生说:“本公司面向新领域的准分子激光器GIGANEX已经在FPD业界登场。能够为面板生产厂商的LTPS TFT液晶面板的试制成功做出贡献,我们感到由衷的高兴。今后GIGANEX将成为FPD制造领域崭新的解决方案,我们期待着它能够为业界做出贡献。”


















半導體微影光源的主要生產廠商Gigaphoton株式會社(總公司地址: 栃木縣小山市,董事長兼總經理: 都丸仁)發布消息指出:該公司已經利用可靠性較高的半導體微影用準分子雷射器成功開發了一種GIGANEX系列退火裝置專用的準分子雷射器,該裝置搭載於株式會社V Technology【7717(東證1部)】的微型雷射退火裝置上,用於大型液晶製造設備工廠的LTPS(低溫多晶矽)生產。

近年來,為了將在半導體微影用準分子雷射器領域長期累積的技術應用到其他領域,Gigaphoton一直在推展用於FPD製造領域a-Si(非晶矽)的微型雷射退火工序的準分子雷射器的開發工作,並將開發成功的新型準分子雷射器GIGANEX的試製機提供給面板生產廠商。在2016年5月22-27日於美國舉辦的Display Week 2016上展出了試製面板,引起了巨大轟動。

該GIGANEX系列退火裝置專用的準分子雷射器係V Technology公司生產的裝置的專用機,是作為微型雷射退火工序的光源開發的。微型雷射退火裝置的特點是,導入現有的a-Si面板的製造工序後,使a-Si結晶成p-Si(多晶矽),可以製造8K等規格的高精細面板,這是憑藉以前a-Si製程所不可能實現的。另外,PLAS還適合於採用以往雷射退火工序難以實現的大型面板規格,並且也可以適用於製造的50~70英寸的電視面板的大型液晶製造設備工廠。

Gigaphoton董事長、總經理兼執行長都丸仁先生說:「本公司適用於新領域的準分子雷射器GIGANEX已經在FPD業界登場。能夠為面板生產廠商的LTPS TFT液晶面板的試製成功做出貢獻,我們感到由衷的高興。今後GIGANEX將成為FPD製造領域嶄新的解決方案,我們期待著它能夠為業界做出貢獻。」















대형 액정 제조 설비 공장 LTPS(저온 다결정 실리콘) TFT 액정 패널의 시험 제작 성공에 공헌

토치기현 오야마시; 2016년 6월 8일 - 반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표 이사 사장: 토마루 히토시)는 고신뢰의 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 “GIGANEX” 시리즈의 어닐링용 엑시머 레이저 개발에 성공, 주식회사 브이 테크놀로지(7717(도쿄 증권 거래소 1부))의 극소 레이저 어닐링 장치에 탑재되어 이번에 대형 액정 제조 설비 공장에서 LTPS(저온 다결정 실리콘)용으로 출하되었다고 발표했습니다.

최근 기가포톤은 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저에서 축적한 기술을 다른 분야에서 응용하기 위해 FPD 제조에 대한 a-Si(비정질 실리콘)막의 극소 레이저 어닐링 공정용 엑시머 레이저 개발을 진행하고 있으며, 이번에 개발에 성공한 신형 엑시머 레이저 “GIGANEX”의 시험 제작기를 패널 제조업체에 출하했습니다. 2016년 5월 22-27일에 미국에서 개최된 Display Week 2016에서는 시험 제작 패널이 출품되어 많은 반향을 불러 일으켰습니다.

이 “GIGANEX” 시리즈의 어닐링용 엑시머 레이저는 브이 테크놀로지사가 제작한 장치의 전용기로, 극소 레이저 어닐링 공정의 광원으로 개발되었습니다. 극소 레이저 어닐링의 특징은 기존의 a-Si 패널 제조 공정에 도입하여 a-Si를 p-Si(폴리 실리콘)로 결정화하면 기존의 a-Si에서는 제작할 수 없었던 8K 등의 고화질 패널 제조가 가능하게 된다는 점니다. 또한 기존의 레이저 어닐링에서는 실현할 수 없었던 대형 패널 크기에도 적합하므로 50-70인치의 TV 패널을 제조하는 대형 액정 제조 설비 공장에서도 대응할 수 있습니다.

기가포톤 대표 이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시는 이렇게 소감을 밝혔습니다. ‘새로운 분야를 위한 당사의 엑시머 레이저 “GIGANEX”가 FPD 업계에 도입되어 패널 제조업체의 LTPS TFT 액정 패널 시험 제작 성공에 크게 공헌할 수 있었던 것을 매우 기쁘게 생각합니다. 향후 “GIGANEX”가 FPD 제조상의 새로운 솔루션으로 자리잡아 업계에 공헌할 수 있기를 기대하고 있습니다.’


지금까지 기가포톤이 반도체 리소그래피에서 축적한 높은 기술력을 살린 신형 엑시머 레이저 “GIGANEX”는 FPD 제조ㆍ플렉서블 디바이스 프로세스ㆍ리소그래피 이외의 반도체 제조 등의 분야를 위한 엑시머 레이저의 새로운 브랜드입니다. 새로운 혁신을 함께 창조하는 파트너와 함께 엑시머 레이저의 무한한 가능성을 탐색하면서 GIGANEX의 솔루션을 제공해 나가겠습니다.

《자세한 내용은 이곳을 참조》


기가포톤에 대해

2000년에 설립한 이래 기가포톤은 레이저 공급업체로서, 가치 있는 솔루션을 세계의 반도체 제조업체에 끊임없이 제공하고 있습니다. 기가포톤은 연구 개발부터 제조ㆍ판매ㆍ보수 서비스까지 항상 사용자 입장에 선 업계 최고 수준의 지원을 약속합니다. 자세한 내용은 www.gigaphoton.com을 참조해 주십시오.

보도 관계자를 위한 연락 창구:

기가포톤 주식회사

경영 기획부

마츠이 아키노리

TEL: 0285-37-6931

E-Mail: web_info@gigaphoton.com

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