GIGANEX シリーズ

GIGANEX-LOGO (Photo)
GIGANEX-RED (Photo)

*将来の筐体イメージです。弊社の都合で予告なく変更する可能性もあります。

ギガフォトンのGTシリーズと新たな技術を融合した、最先端のエキシマレーザ

これまでギガフォトンが半導体リソグラフィ用光源のエキシマレーザ製造から得た技術とノウハウを集結して、お客様との技術の融合により新たに作るGIGANEXは、高性能DUV光源として、半導体リソグラフィ以外の分野でも新しいイノベーションを生むことができると私達は確信しています。

期待する応用分野
FPD製造プロセス、フレキシブルデバイス製造プロセス、半導体製造プロセス

大出力エキシマレーザ

GIGANEXシリーズはギガフォトンのGTプラットフォーム上に設計されており、最大限の共通化が図られているため高い信頼性が期待できます。また、GTの特長である高出力・高発振周波数を引き継いで、より高いスループットを実現させることが期待できます。

 

高繰り返しタイプエキシマレーザ

機種 G300K GT600K
G300K GT600K
発振波長 248 nm
最大パルスエネルギー 75 mJ 100 mJ
最大出力 300 W 600 W
最大発振周波数 4 KHz 6 KHz
レーザ本体寸法 1975 x 800 x 1950 (mm) 2800 x 820 x 2120 (mm)
重量 1600 kg 3400 kg

 


  1. 主仕様については弊社の都合で予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。
  2. ご興味がございましたら弊社担当までお問合せ下さい。
  3. マーケット需要、弊社の都合で変更することがございます。ご了承ください。